射频微机电系统技术现状

较全面地介绍了 RF MEMS 器件、由 RF 器件构成的组件及应用系统,并给出了一些新的典型示例。通过比较 RF MEMS 器件与传统微波器件在性能、尺寸等各方面的差别,可以了解 RF MEMS 技术在相控阵雷达上运用的优势。

基于微机电系统技术的微推进器发展简析

1发展需求 随着微小卫星技术的发展和应用领域的不断扩大，对微推进系统提出了越来越迫切的需求。由于微小卫星具有体积小、质量轻、转动惯量小等特点，为精确实现其轨道调整、引力补偿、位置保持、轨道机动和姿态控制等操作，必须开发出具有高集成度、低功耗、小推力和微冲量等特点的微推进器。

微机电系统技术及其在卫星中的应用

一、微机电系统（MEMS）技术概述 MEMS技术的术语近几年来不仅在传感器技术、测控技术和微电子技术领域频繁出现，也在航天技术领域中不断出现。微机电系统是微电子技术的拓宽和延伸。它将微电子技术和精密机械加工技术相互融合，实现了微电子与机械融为一体的系统。具体来说，微机电系统是专指外形轮廓尺寸在毫米量级以下，构成它的机械零件和半导体元器件尺寸在微米至纳米量级（10^-6～10^-9m），可对声、光、热、磁、运动等自然信息进行感知、识别、控制和处理的微型机电装置。它是正在飞速发展的微米和纳米技术的一项十分重要的成果。它将微型电机、微型电路、微型传感器、微型执行器等微型装置和器件集成在硅片上，不仅能收集、处理与发送信息或指令，还能按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。

用微机电系统技术制微型PEMFC及其性能研究

采用氧化、光刻、KOH湿法腐蚀和溅射等一系列微机电系统(MEMS)工艺,在n型单晶硅片衬底上制作微型质子交换膜燃料电池(mPEMFC)的精细流场,并用扫描电子显微镜(SEM)观察所形成的流场微观形貌。将加工好的流场板分别与不同的膜电极组件(MEA)叠片式组装成H2-空气自呼吸式mPEMFC。所制成的单体电池的体积约为0.3cm3,质量不足0.65g。在20℃,相对湿度RH为(60±5)%的室内环境下,用三种不同MEA即Nafion112、Nafion1135自制热压MEA和GorePrimeaR5561MEA组装成的电池,其峰值比功率、体积比功率和质量比功率分别为123、112、58mW·cm-2,410、373、193W·L-1,189.2、172.9、89.2W·kg-1。通过比较上述三种不同mPEMFC的性能,分析了影响电池性能的若干因素。用Nafion1135MEA组装的mPEMFC以50mA·cm-2进行累计260h长时间放电实验,电池电压保持在0.6V以上。

ADI发布3轴运动检测微机电系统技术

美国模拟器件公司（ADI）日前发布了3轴运动检测微机电系统（MEMS）技术。

ADI发布3轴运动检测微机电系统技术

日前，美国模拟器件公司（ADI）发布了3轴运动检测微机电系统（MEMS）技术。该3轴iMEMS（集成MEMS）Motion Signal Processing技术能将包含薄的、鲁棒性运动传感器和先进的信号调理电路的非常小的低功耗3轴（XYZ）加速度计集成在一颗低功耗芯片上。带有2轴和3轴MEMS运动传感器的移动电话和其它便携式设备都能对位置、方向和运动做出智能地响应。

霍尼韦尔公司大力发展微机电系统技术

美国最大的惯导系统制造商霍尼韦尔公司已签署了一份意问书,拟采购波音公司的微机电系统(MEMS)技术及相关的用于惯性制导系统的专利。这项技术被认为是未来军用"芯片陀螺"的关键,在这类应用中要求陀螺具有轻而小的特点。在近期。

基于分子电子传感器技术可用于行星探测的微型地震仪

描述了一种基于分子电子传感器(MET)技术的微型机械地震计的研制过程。不同于固体惯性质量,分子电子传感器地震计是探测液体电解质相对于固定电极的移动。使用微机电系统技术将探测单元的内部尺寸减小到1μm并且提高了设备的再现性。对600mV的工作偏置电压,在0.32Hz的400μg(g≡9.81m/s2)加速度条件下可测得灵敏度为809V/(m/s2)。在1Hz获得的噪声水平为-115dB(相对于(m/s2)/Hz^(1/2))。这项工作研发了一个可供选择小尺寸、高灵敏度、低本底噪声、高振动范围和独立安装角度的地震计设备。这有希望成为下一代行星探测用的地震仪。

基于微流控与喷墨打印技术的微液滴形成芯片

基于微流控的液滴发生是数字聚合酶链式反应(PCR)等分子生物学检测数字化的基础。研究了一种新的微流控法制备微液滴,采用微流控与热泡喷墨技术结合的方法制备微液滴。利用热泡喷墨打印技术的液滴发生原理,本文提出了一种能够在1 s内形成超过300000个皮升(pL)级液滴的创新型方法。针对这种新的液滴发生方法,本文系统研究了喷孔位置、分散相黏度、分散相与MEMS半导体芯片的接触角等因素对液滴生成的影响。该技术在数字PCR等分子生物学检测领域有巨大的应用潜力。

MEMS CAD系统及其关键技术研究

针对MEMS器件及系统本身的特点和设计方式,构建了MEMS CAD软件系统的结构,并描述了系统中各模块的功能。对当前MEMS CAD系统亟待解决的关键技术,如数值计算方法、多能量域耦合仿真、宏模型建立、版图综合、工艺自动生成和优化以及多领域专家协同设计等问题进行了详细的论述,指出了各项技术的研究进展和发展方向。

国际上微型飞行器研究的进展及其关键技术

微型飞行器 (MAV)是 MEMS传感器和驱动器技术发展的必然产物 ,同时也是当今先进国家竞相研究的科技前沿课题 .该文综述了世界各国对微型飞行器在固定翼、旋翼、扑翼以及微型动力系统方面的研究进展 ,指出了MAV研究的几项关键技术 ,并结合我国实际 ,提出了我国研究

基于集成参比电极的多参数水质监测微传感器阵列研制

研究了一种基于MEMS工艺制备的集成微电极型传感器,并用电化学修饰方法将Ag/AgCl参比电极集成在传感器上,用于水体中温度、电导率和氧化还原电位的测定。Pt温度传感器的电阻与温度的线性关系良好,满足温度测量精度的需求;比较法确定电导率传感器的电极常数为2.723,可以对一般水体的电导率进行测定;氧化还原电位传感器的标准曲线斜率为0.99733接近于理论值,表明它可以准确表示水体的氧化还原电位值。

MEMS——电子领域的新宠

微机电系统技术 (MEMS)是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的 .其微型化、集成化、批量生产和多学科交叉等优良特性将对人类社会生活带来巨大的进步 ,是电子领域的新宠 .

基于MEMS技术热温差式流量传感器的设计与标定

设计了一种基于微机电系统(MEMS)技术热温差式流量传感器并对传感器进行了标定。通过MEMS技术加工制作出流量传感器。芯片结构包括中间热源电阻器、上下游测温电阻器及环境电阻器。热源电阻器和上下游测温电阻器悬空布置,热源的工作模式为恒温差。流量值通过设计的硬件检测系统处理,通过串口传输至上位机,上位机上通过MATLAB对控制系统输出的数字量进行拟合标定。经过测试,设计的传感器标定后输出特性良好,能够应用于工业领域的流量测量。

小仪器里的大文章——记2013年度国家技术发明奖二等奖项目“基于生物敏感膜的便携式传感器关键技术及应用”

生物传感器由信号转换器件、生物敏感元件和检测电路组成,是敏感电子学的重要研究方向,属国际前沿技术。自1967年S.J.Updike等研制出了第一个葡萄糖生物传感器以来,生物传感器技术一直在不断向前发展。如今,随着电子信息科技与生物技术、微机电系统技术及纳米技术等高新技术的交叉融合,生物传感器向小型便携、实时快速、高灵敏、多参数和低成本方向发展,在临床卫生、食品安全、反恐侦查以及科学研究等方面具有重要应用需求,

基于有限元模拟的微电磁继电器的结构优化设计与研究

由于微机电系统(MEMS)技术的迅猛发展,以此为基础的微电磁继电器的应用前景也越来越广阔。为使微电磁继电器的结构进一步优化,基于已有的微电磁继电器的研究,提出了微电磁继电器的结构模型并建立了相应的仿真模型,通过ANSYS有限元模拟软件,对微电磁继电器的关键组成部分平面磁芯线圈所产生的电磁场的分布和活动电极(衔铁)在线圈电磁感应产生的电磁场中所受电磁力情况进行仿真计算,以及受力应变进行分析,得到影响微电磁继电器结构设计的重要考虑因素,比如电流激励、活动间隙等,总结出结构设计依据,对未来微电磁继电器结构的进一步优化具有一定的参考意义。

基于二极管电爆炸的单触发开关导通机理

采用磁控溅射、紫外光刻、化学气相沉积等微机电加工技术,制备了基于Schottky结二极管和p-n结二极管的两种单触发开关,分析了无负载时它们的放电特性,两种开关在0.22μF/1500V、0.22μF/1200V下达至2000A左右的峰值电流。研究了触发电容容值、触发电压、主电压、绝缘层厚度和双二极管并联结构对导通性能的影响,发现随着触发电容容值的增加,最小触发电压逐渐降低;减小绝缘层厚度、提高触发电压和主电压,均有利于峰值电流的升高;双二极管并联作为触发元件时,峰值电流比基于单个二极管的单触发开关更高,上升时间更短。根据单触发开关的放电特性曲线,将其作用过程划分为二极管电爆炸、绝缘介质层击穿和脉冲大电流上升三个阶段,阐明了各阶段的作用机制,建立了相应的电阻模型,结果表明单触发开关的电阻可以视为常数,并且阻值在毫欧级。