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基于MEMS的微引信谐振器系统级设计
1
作者
国蓉
王小娟
王伟
《兵工自动化》
2008年第11期3-5,9,共4页
在微机电系统集成设计平台—MEMS Garden基础上,搭建MEMS微引信谐振器的系统级模型,并利用有限元仿真计算2种方法并对模型进行有效性验证,完成谐振器的结构设计,再由仿真得到结构性能参数。研究结果表明,采用系统级方法进行MEMS器件的...
在微机电系统集成设计平台—MEMS Garden基础上,搭建MEMS微引信谐振器的系统级模型,并利用有限元仿真计算2种方法并对模型进行有效性验证,完成谐振器的结构设计,再由仿真得到结构性能参数。研究结果表明,采用系统级方法进行MEMS器件的设计能够在确保求解精度的前提下,显著提高设计效率,缩短设计周期,减小设计成本;所设计的MEMS微引信谐振器的各项性能指标完全能满足引信安全系统的应用要求。
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关键词
微引信谐振器
系统
级
设计
微机
电
系统
集成
设计
平台
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职称材料
基于谐振原理的硅微薄膜弯曲疲劳装置的设计
被引量:
1
2
作者
丁雷
尚德广
+2 位作者
张大成
贾冠华
李浩群
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第3期330-334,共5页
根据梳状驱动器原理设计了一种静电力驱动的硅微薄膜弯曲疲劳试验装置,所设计的装置可以由微机电系统表面牺牲层标准工艺制作加工。对所设计疲劳试验装置的圆弧梳状驱动器电容及静电驱动力进行了理论分析,并在此基础上采用有限元分析软...
根据梳状驱动器原理设计了一种静电力驱动的硅微薄膜弯曲疲劳试验装置,所设计的装置可以由微机电系统表面牺牲层标准工艺制作加工。对所设计疲劳试验装置的圆弧梳状驱动器电容及静电驱动力进行了理论分析,并在此基础上采用有限元分析软件ANSYS对装置进行了模态分析与简谐分析。分析结果表明:当所施加的交流电压频率与结构的一阶固有频率相等时,试样在其缺口根部取得最大应力值,该应力值与所加交直流电压乘积的大小成线性关系,利用该关系式可对试验所需电压值进行预测。有限元分析和制造结果观测表明,所设计的装置符合微机械疲劳试验要求。
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关键词
微机电系统设计
疲劳
薄膜
梳状驱动器
有限元分析
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职称材料
题名
基于MEMS的微引信谐振器系统级设计
1
作者
国蓉
王小娟
王伟
机构
西安工业大学光电工程学院
出处
《兵工自动化》
2008年第11期3-5,9,共4页
基金
武器装备预研基金项目(9140C360502060C36)
文摘
在微机电系统集成设计平台—MEMS Garden基础上,搭建MEMS微引信谐振器的系统级模型,并利用有限元仿真计算2种方法并对模型进行有效性验证,完成谐振器的结构设计,再由仿真得到结构性能参数。研究结果表明,采用系统级方法进行MEMS器件的设计能够在确保求解精度的前提下,显著提高设计效率,缩短设计周期,减小设计成本;所设计的MEMS微引信谐振器的各项性能指标完全能满足引信安全系统的应用要求。
关键词
微引信谐振器
系统
级
设计
微机
电
系统
集成
设计
平台
Keywords
Micro-fuse resonator
System-level design
Integrated design platform MEMS garden
分类号
TJ430 [兵器科学与技术—火炮、自动武器与弹药工程]
TP391.9 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
基于谐振原理的硅微薄膜弯曲疲劳装置的设计
被引量:
1
2
作者
丁雷
尚德广
张大成
贾冠华
李浩群
机构
北京工业大学
北京大学
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第3期330-334,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(50575004)
文摘
根据梳状驱动器原理设计了一种静电力驱动的硅微薄膜弯曲疲劳试验装置,所设计的装置可以由微机电系统表面牺牲层标准工艺制作加工。对所设计疲劳试验装置的圆弧梳状驱动器电容及静电驱动力进行了理论分析,并在此基础上采用有限元分析软件ANSYS对装置进行了模态分析与简谐分析。分析结果表明:当所施加的交流电压频率与结构的一阶固有频率相等时,试样在其缺口根部取得最大应力值,该应力值与所加交直流电压乘积的大小成线性关系,利用该关系式可对试验所需电压值进行预测。有限元分析和制造结果观测表明,所设计的装置符合微机械疲劳试验要求。
关键词
微机电系统设计
疲劳
薄膜
梳状驱动器
有限元分析
Keywords
micro- electro- mechanical system design
fatigue
thin film
comb driver
FEA
分类号
TB873.3 [一般工业技术—摄影技术]
TB302.3 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于MEMS的微引信谐振器系统级设计
国蓉
王小娟
王伟
《兵工自动化》
2008
0
下载PDF
职称材料
2
基于谐振原理的硅微薄膜弯曲疲劳装置的设计
丁雷
尚德广
张大成
贾冠华
李浩群
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
1
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职称材料
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