微桥量热计测量铝薄膜热容

用表面硅微加工工艺研制了一种用于薄膜热容测量的新型微桥量热计，热性能测试与分析表明，微桥量热计温度响应快，温度均匀性较好，采用脉冲量热法，通过测量量热计的热功耗、瞬态温度以及稳态热功耗，可计算量热计和样品薄膜的热容．在真空中300～420K测量了40～1150nm厚的Al薄膜热容，并测量了样品的贡量，获得了样品的比热容，1150nm厚的Al薄膜比热容与Al体材料比热容的文献值吻合较好．随着厚度的减小，Al薄膜的比热容增强，这种现象在高温时更为显著．