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题名新型半填充微气相色谱柱芯片研究
被引量:1
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作者
田博文
冯飞
赵斌
罗凡
杨雪蕾
李昕欣
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机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
中国科学院大学
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
2019年第6期5-8,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(91323304
60876081
+2 种基金
61172151)
上海市科委项目(14DZ1105102)
国家高技术研究发展"863"计划资助项目(2009AA04Z317)
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文摘
基于微机电系统(MEMS)技术设计制造了新型半填充微气相色谱柱(μGCC)芯片,芯片的微沟道内设计有排列整齐的椭圆微柱阵列。与现有半填充μGCC相比,新型μGCC的微沟道具有更大的表面积和更均匀的流速场分布,对芯片分离度和柱效的提高起着至关重要的作用。设计的芯片成功分离了重烃类混合气体组分和苯系物,理论塔板数最高可达到9 246 plates/m。
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关键词
微机电系统
半填充微气相色谱柱
椭圆微柱
分离度
柱效
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Keywords
micro-electro-mechanical systems(MEMS)
semi-packed micro gas chromatographic column
micro elliptic cylindrical
separation resolution
column efficiency
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分类号
O657.71
[理学—分析化学]
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题名具有快速分离效果多道微型气相色谱柱
被引量:4
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作者
李臆
杜晓松
高超
郭攀
程璐婳
蒋亚东
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机构
电子科技大学光电信息学院
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出处
《分析试验室》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第4期493-496,共4页
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基金
国家自然科学基金项目(61176066
61101031)
国家高技术研究发展863计划(SS2013AA062810)资助
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文摘
采用MEMS技术设计了一种多道微型气相色谱柱,运用深槽刻蚀技术(DRIE),对器件刻蚀深400μm,微型色谱柱总长度为50cm,每道宽40μm,4道多道柱。采用静态涂覆法对色谱柱涂覆SE-54固定相。将多道色谱柱与30 m长的安捷伦HP-5毛细管柱多道色谱柱比较,烷烃混合物在两种柱内都被完全分离,混合物在多道柱内的保留时间比在毛细管柱内缩短了两倍,塔板数达到15342 plates/m,是毛细管柱的3倍。多道色谱柱被用于分离苯,甲苯及苯酚致癌组分,所有组分在1 min之内被完全分离。在时间上比之前报道的6 m长微型色谱柱缩短了3倍,实现了快速分离效果。
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关键词
微气相色谱柱
多道柱
MEMS
快速分离
分离效率
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Keywords
Microfabricated gas chromatograph
Multi-capillary gas column
Separation Efficiency
High-speedseparation
MEMS
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分类号
O657.7
[理学—分析化学]
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