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微水刀激光技术用于制造第4代OLED掩模版
1
作者
刘光裕
《光机电信息》
2008年第11期15-18,共4页
OLED现在正向大尺寸和彩色发展。传统的电铸和光刻技术已不适合大尺寸OLED掩模版的制造,而传统的激光技术在此类高精度微细加工方面也有难以克服的缺点。相比之下,微水刀激光技术具有切割线条整齐、表面清洁、没有毛刺和沉渣、无热应力...
OLED现在正向大尺寸和彩色发展。传统的电铸和光刻技术已不适合大尺寸OLED掩模版的制造,而传统的激光技术在此类高精度微细加工方面也有难以克服的缺点。相比之下,微水刀激光技术具有切割线条整齐、表面清洁、没有毛刺和沉渣、无热应力影响以及加工速度快等优点,已被公认为OLED掩模版最理想的加工技术。
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关键词
OLED
制造过程
掩模版
微水刀激光技术
Invar合金
发光材料
热膨胀系数
下载PDF
职称材料
题名
微水刀激光技术用于制造第4代OLED掩模版
1
作者
刘光裕
出处
《光机电信息》
2008年第11期15-18,共4页
文摘
OLED现在正向大尺寸和彩色发展。传统的电铸和光刻技术已不适合大尺寸OLED掩模版的制造,而传统的激光技术在此类高精度微细加工方面也有难以克服的缺点。相比之下,微水刀激光技术具有切割线条整齐、表面清洁、没有毛刺和沉渣、无热应力影响以及加工速度快等优点,已被公认为OLED掩模版最理想的加工技术。
关键词
OLED
制造过程
掩模版
微水刀激光技术
Invar合金
发光材料
热膨胀系数
分类号
TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
TN873.3 [电子电信—信息与通信工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
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1
微水刀激光技术用于制造第4代OLED掩模版
刘光裕
《光机电信息》
2008
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