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微水刀激光技术用于制造第4代OLED掩模版
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作者 刘光裕 《光机电信息》 2008年第11期15-18,共4页
OLED现在正向大尺寸和彩色发展。传统的电铸和光刻技术已不适合大尺寸OLED掩模版的制造,而传统的激光技术在此类高精度微细加工方面也有难以克服的缺点。相比之下,微水刀激光技术具有切割线条整齐、表面清洁、没有毛刺和沉渣、无热应力... OLED现在正向大尺寸和彩色发展。传统的电铸和光刻技术已不适合大尺寸OLED掩模版的制造,而传统的激光技术在此类高精度微细加工方面也有难以克服的缺点。相比之下,微水刀激光技术具有切割线条整齐、表面清洁、没有毛刺和沉渣、无热应力影响以及加工速度快等优点,已被公认为OLED掩模版最理想的加工技术。 展开更多
关键词 OLED 制造过程 掩模版 微水刀激光技术 Invar合金 发光材料 热膨胀系数
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