期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
微水导激光划片工艺原理及应用
被引量:
5
1
作者
王宏智
《电子工业专用设备》
2008年第3期27-31,49,共6页
从应用需求出发,介绍了微水导激光划片工艺的主要原理和特点;对其关键工艺机构中的光学聚焦系统、激光在水柱中的全反射传播、激光系统、压力水腔和喷嘴组成的光液耦合器等原理进行了简单分析和介绍;对微水导激光划片工艺的应用前景进...
从应用需求出发,介绍了微水导激光划片工艺的主要原理和特点;对其关键工艺机构中的光学聚焦系统、激光在水柱中的全反射传播、激光系统、压力水腔和喷嘴组成的光液耦合器等原理进行了简单分析和介绍;对微水导激光划片工艺的应用前景进行了总结和展望。
展开更多
关键词
微
水导激光
光液耦合
划切
微水柱
热熔效应
超薄晶圆
Low—K介质层
LED衬底
下载PDF
职称材料
革命性加工新技术——水刀激光
2
《电子工业专用设备》
2004年第5期51-51,共1页
关键词
水刀激光
功能
微水柱
激光热影响区
下载PDF
职称材料
题名
微水导激光划片工艺原理及应用
被引量:
5
1
作者
王宏智
机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出处
《电子工业专用设备》
2008年第3期27-31,49,共6页
文摘
从应用需求出发,介绍了微水导激光划片工艺的主要原理和特点;对其关键工艺机构中的光学聚焦系统、激光在水柱中的全反射传播、激光系统、压力水腔和喷嘴组成的光液耦合器等原理进行了简单分析和介绍;对微水导激光划片工艺的应用前景进行了总结和展望。
关键词
微
水导激光
光液耦合
划切
微水柱
热熔效应
超薄晶圆
Low—K介质层
LED衬底
Keywords
Water-Jet-Guided Laser
Photo-Liquid Coupling
Scribing
Water Beam-Riding
Heading Fuse Effect
Ultra-Thin Wafer
Low-k Dielectric Layer
LED Substrate
分类号
TN305.1 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
革命性加工新技术——水刀激光
2
出处
《电子工业专用设备》
2004年第5期51-51,共1页
关键词
水刀激光
功能
微水柱
激光热影响区
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微水导激光划片工艺原理及应用
王宏智
《电子工业专用设备》
2008
5
下载PDF
职称材料
2
革命性加工新技术——水刀激光
《电子工业专用设备》
2004
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部