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微波光子异质/异构集成技术
被引量:
2
1
作者
孔月婵
李海波
+1 位作者
马琨傑
钱广
《微波学报》
CSCD
北大核心
2022年第5期46-53,共8页
微波光子芯片是支撑微波光子学发展的基石。针对微波光子芯片材料体系多样、难以多功能集成等问题,异质/异构集成技术提供了一种有效途径。该技术可将不同材料体系的最优性能器件集成到同一芯片上,大大扩展微波光子芯片的功能,降低微波...
微波光子芯片是支撑微波光子学发展的基石。针对微波光子芯片材料体系多样、难以多功能集成等问题,异质/异构集成技术提供了一种有效途径。该技术可将不同材料体系的最优性能器件集成到同一芯片上,大大扩展微波光子芯片的功能,降低微波光子功能模块的体积、重量,并提高其性能稳定性。本文介绍了目前主流的微波光子异质/异构集成技术和光电混合集成方面的主要研究进展,并对未来发展趋势进行展望。
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关键词
微波光子芯片
异质/异构集成
光电集成
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职称材料
题名
微波光子异质/异构集成技术
被引量:
2
1
作者
孔月婵
李海波
马琨傑
钱广
机构
微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室
中国电子科技集团公司第五十五研究所
出处
《微波学报》
CSCD
北大核心
2022年第5期46-53,共8页
基金
国家重点研发计划(2022YFB280272)
江苏省产业前瞻技术研发项目(BE2021030)。
文摘
微波光子芯片是支撑微波光子学发展的基石。针对微波光子芯片材料体系多样、难以多功能集成等问题,异质/异构集成技术提供了一种有效途径。该技术可将不同材料体系的最优性能器件集成到同一芯片上,大大扩展微波光子芯片的功能,降低微波光子功能模块的体积、重量,并提高其性能稳定性。本文介绍了目前主流的微波光子异质/异构集成技术和光电混合集成方面的主要研究进展,并对未来发展趋势进行展望。
关键词
微波光子芯片
异质/异构集成
光电集成
Keywords
microwave photonic chip
heterogeneous integration
optoelectronic integration
分类号
TN015 [电子电信—物理电子学]
TN40 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微波光子异质/异构集成技术
孔月婵
李海波
马琨傑
钱广
《微波学报》
CSCD
北大核心
2022
2
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