大面积微波CVD反应腔中电磁场分布的研究

根据大面积微波 CVD反应腔的简单模型 ,采用 FIT算法计算了腔内的电磁场 ,并用计算机模拟了反应腔中电磁场的分布 ,寻找影响腔内电磁场分布的参数 。