微波固态电路腔体的磁控溅射镀银工艺研究

研究了铝合金微波固态电路腔体磁控溅射镀银工艺方法。通过对铝合金微波固态电路腔体进行化学氧化、磷酸阳极氧化前处理,解决铝基材微波固态电路腔体溅射银层的附着力问题;通过保护工装设计,实现腔体选择性溅射,满足微波固态电路组装要求。