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晶圆级微波测试工艺研究
被引量:
4
1
作者
吕磊
胡晓霞
郑如意
《电子工业专用设备》
2021年第2期46-51,共6页
从微波信号特性和微波器件晶圆级测试工艺要求出发,介绍了微波探针台的主要结构设计,并以某器件测试工艺为例,分别进行测试系统搭建、程序编写、数据读取与分析等描述,同时对该设备的特殊需求及后续发展方向进行展望。
关键词
微波探针台
晶圆级测试
电磁屏蔽
下载PDF
职称材料
题名
晶圆级微波测试工艺研究
被引量:
4
1
作者
吕磊
胡晓霞
郑如意
机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出处
《电子工业专用设备》
2021年第2期46-51,共6页
文摘
从微波信号特性和微波器件晶圆级测试工艺要求出发,介绍了微波探针台的主要结构设计,并以某器件测试工艺为例,分别进行测试系统搭建、程序编写、数据读取与分析等描述,同时对该设备的特殊需求及后续发展方向进行展望。
关键词
微波探针台
晶圆级测试
电磁屏蔽
Keywords
Microwave probe
Wafer level test
Electromagnetic shielding
分类号
TN307 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
晶圆级微波测试工艺研究
吕磊
胡晓霞
郑如意
《电子工业专用设备》
2021
4
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