硅基微波有源子阵三维集成技术

本文提出了一种新型的硅基微波有源子阵架构,并对其低损耗矩形波导传输结构设计、散热微流道设计、多层基板堆叠等关键技术进行研究,实现了Ku频段4通道微波有源子阵集成,样品单通道发射功率12W,接受增益24dB,噪声系数优于3.4,在小型化的同时实现优异的射频性能。