1
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微波电子回旋共振等离子体阴极电子束的实验研究 |
李亮
刘亦飞
陈龙威
王功
刘鸣
任兆杏
刘兵山
赵光恒
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《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
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2019 |
2
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2
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微波电子回旋共振等离子体的阻抗特性分析 |
胡海天
邬钦崇
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《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
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1997 |
0 |
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3
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微波电子回旋共振等离子体刻蚀技术 |
丁振峰
邬钦崇
任兆杏
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《真空电子技术》
北大核心
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1996 |
0 |
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4
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微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积法制备多晶硅薄膜 |
左潇
魏钰
陈龙威
舒兴胜
孟月东
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《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
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2012 |
2
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5
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微波电子回旋共振等离子体技术及其应用 |
甄汉生
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《真空科学与技术》
CSCD
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1993 |
4
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6
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应用于电推进的碘工质电子回旋共振等离子体源 |
李鑫
曾明
刘辉
宁中喜
于达仁
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《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2023 |
0 |
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7
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电子回旋共振微波等离子体刻蚀α:CH薄膜的工艺 |
陆晓曼
张继成
吴卫东
朱永红
郭强
唐永建
孙卫国
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《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2008 |
3
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8
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电子回旋共振微波等离子体技术及应用 |
张继成
唐永建
吴卫东
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《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2002 |
8
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9
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电子回旋共振—微波等离子体化学气相沉积法制备a-C:H(N)薄膜 |
李新
唐祯安
马国佳
邓新绿
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《真空》
CAS
北大核心
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2003 |
2
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10
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采用电子回旋共振微波等离子体增强的溅射沉积薄膜技术 |
雷明凯
王大庸
张仲麟
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《真空科学与技术》
CSCD
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1996 |
1
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11
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宽进气道电子回旋共振离子源电磁场和中性粒子计算研究 |
杨涓
牟浩
耿海
吴先明
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《推进技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2023 |
1
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12
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微波等离子体制备类金刚石薄膜进展 |
李孝凯
尹善
王进平
徐清国
郭朝乾
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《真空与低温》
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2024 |
0 |
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13
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微波等离子体电子回旋共振放电粒子模拟分析 |
张岩
钱禹行
刘尚合
赵鑫
郭英军
孙鹤旭
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《科学技术与工程》
北大核心
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2021 |
2
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14
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电子回旋共振等离子体源的特性 |
刘仲阳
孙官清
张大忠
陈剑宣
钟光武
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《核技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2000 |
4
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15
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电子回旋共振(ECR)等离子体的研究和应用 |
宁兆元
任兆杏
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《物理学进展》
CSCD
北大核心
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1992 |
23
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16
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电子回旋共振等离子体源的朗谬尔探针诊断 |
吴振宇
汪家友
杨银堂
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《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2004 |
5
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17
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永磁电子回旋共振等离子体化学气相沉积系统 |
吴振宇
刘毅
汪家友
杨银堂
|
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2004 |
5
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18
|
电子回旋共振等离子体技术新进展 |
恩云飞
杨银堂
孙青
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《西安电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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1995 |
2
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19
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非对称磁镜场电子回旋共振氧等离子体刻蚀化学气相沉积金刚石膜 |
谭必松
马志斌
沈武林
吴振辉
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《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2010 |
2
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20
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封闭式电子回旋共振等离子体低温沉积SrTiO_3膜 |
蔡长龙
刁东风
T.Matsumoto
S.Miyake
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《西安工业学院学报》
CAS
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2004 |
1
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