微波等离子体刻蚀对WC-Co硬质合金基体金刚石薄膜附着力的影响

金刚石薄膜的附着力是影响CVD金刚石涂层刀具切削性能的关键因素。本文采用EACVD法在硬质合金 (YG6 )基体上沉积金刚石涂层 ;用Ar -H2 微波等离子对WC -Co衬底进行刻蚀处理 ,以改变基体表面与金刚石涂层间的界面结构 ,提高金刚石涂层的附着力 ;采用压痕法评估涂层附着力 ;借助SEM等观察刻蚀预处理方法对膜基界面的影响 ,并对此进行分析和讨论。

微波等离子体刻蚀脱碳预处理对金刚石涂层刀具附着力和切削性能的影响

用 EACVD法在硬质合金 ( YG6)刀具上沉积金刚石涂层 ;用氢微波等离子体刻蚀的方法对基底进行表面预处理 ,以期提高金刚石涂层的附着力和涂层刀具的切削性能 ;附着力采用压痕法计算测定 ,切削性能通过对碳化硅增强铝基复合材料的切削试验测定 ;用 X射线应力仪测试了涂层残余应力 ,并就不同预处理对性能的影响进行了分析和讨论。