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大面积微波CVD反应腔中电磁场分布的研究
1
作者
王仁海
邹卫东
《黄冈师范学院学报》
2002年第6期23-25,78,共4页
根据大面积微波 CVD反应腔的简单模型 ,采用 FIT算法计算了腔内的电磁场 ,并用计算机模拟了反应腔中电磁场的分布 ,寻找影响腔内电磁场分布的参数 。
关键词
电磁场
等离子体
微波cvd反应腔
微波
化学气相沉淀
金钢石薄膜
下载PDF
职称材料
题名
大面积微波CVD反应腔中电磁场分布的研究
1
作者
王仁海
邹卫东
机构
咸宁学院物理系
出处
《黄冈师范学院学报》
2002年第6期23-25,78,共4页
文摘
根据大面积微波 CVD反应腔的简单模型 ,采用 FIT算法计算了腔内的电磁场 ,并用计算机模拟了反应腔中电磁场的分布 ,寻找影响腔内电磁场分布的参数 。
关键词
电磁场
等离子体
微波cvd反应腔
微波
化学气相沉淀
金钢石薄膜
Keywords
electromagnetic field
plasma
microwave
cvd
reactor
分类号
TB43 [一般工业技术]
O613.71 [理学—无机化学]
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作者
出处
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1
大面积微波CVD反应腔中电磁场分布的研究
王仁海
邹卫东
《黄冈师范学院学报》
2002
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