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微流路生物芯片的研制 被引量:2
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作者 伊福廷 姜雄平 +2 位作者 彭良强 张菊芳 韩勇 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期356-358,361,共4页
运用光刻、刻蚀技术在载玻片上刻蚀出条宽 70 μm、深 30 μm、长 7cm的沟槽 ,与另一载玻片键合 ,形成一微流路沟道 ,研制出了用于生物电泳技术的微流路生物芯片。在该芯片的研制中 ,克服了湿法腐蚀、断线、键合等技术难题。该芯片已经... 运用光刻、刻蚀技术在载玻片上刻蚀出条宽 70 μm、深 30 μm、长 7cm的沟槽 ,与另一载玻片键合 ,形成一微流路沟道 ,研制出了用于生物电泳技术的微流路生物芯片。在该芯片的研制中 ,克服了湿法腐蚀、断线、键合等技术难题。该芯片已经交付合作单位使用 。 展开更多
关键词 微流路生物芯片 电泳技术 结构 生物电泳技术 流路芯片 毛细管电泳芯片
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