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题名气体微流量控制阀结构设计与数值模拟研究
被引量:1
- 1
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作者
周雨欣
刘冲
李经民
付玮
杜慧
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机构
大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
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出处
《机电技术》
2021年第3期57-60,共4页
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文摘
针对现有气态流量控制阀难以满足精细调控的问题进行研究,结合可压缩气体流动原理,设计了一种气体微流量控制阀,并采用计算流体力学(CFD)方法对所设计的微流量控制阀内部流动进行了仿真分析,结果表明:所设计的气体微流量控制阀流量特性与设计曲线相符。该气态微流量控制阀具有微流量精细调节的特点,具有微米级位移稳定高效输出能力,适用于对流量调节性能要求较高的场合,对微流量控制阀高精度稳定调节具有重要意义。
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关键词
微流量控制阀
阀芯结构设计
流量特性曲线
有限元分析
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分类号
TH138
[机械工程—机械制造及自动化]
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题名微悬臂梁动态特性表征用真空系统的仿真研究
被引量:1
- 2
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作者
李建昌
李永宽
巴德纯
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机构
东北大学机械工程与自动化学院
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出处
《真空》
CAS
2012年第6期4-7,共4页
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基金
中央高校基本科研业务费专项资金(N110403001)
高等学校博士学科点专项科研基金(20100042120023)
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文摘
本文研究了用于表征微悬臂梁动态特性的高真空系统,研究了用于夹持微悬臂器件的样品台和用于调节真空室内压力的精密可调漏气阀。该阀在不同压力区间下采取机械机构和压电陶瓷驱动器改变阀门开度,具有精度高、适用范围广等优点,利于实验研究和工程测试。模拟分析结果表明该阀能精确调节10-6Pa^103Pa内压力。系统设置了减振支架和底座,用波纹管连接真空室和抽气系统,对系统振动信号的模拟计算表明所用减振支架和底座能够减小杂质振动信号对微悬臂梁动态特性测定的干扰。采用一般商用漏气阀控压,对微悬臂梁品质因数的测定实验结果表明了表征系统及精密阀的实用前景。
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关键词
微悬臂梁
微流量控制阀
真空系统
减振
压电陶瓷
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Keywords
microcantilever
precision leak valve
vacuum system
vibration attenuation
piezoelectric ceramic
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分类号
TB79
[一般工业技术—真空技术]
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