双差动快速结构光显微测量方法和系统

快速结构光显微测量技术具有高精度、高效率以及强适应性等特点,广泛应用于微纳检测领域。传统的快速结构光显微测量方法,利用轴向调制度响应曲线的线性区域,通过构建调制度值与实际高度之间的关系来实现三维形貌重建。但是,轴向调制度响应曲线的线性区域很短,传统方法的应用受限于其较窄的动态测量范围。为了克服这一缺陷,提出了一种双差动快速结构光显微测量技术。通过引入两条额外的探测支路构建双差动轴向调制度响应曲线,可以获得更宽的线性区域。在数值孔径为0.9,放大倍率为100倍的显微物镜条件下,其测量范围在仿真分析中可从380 nm提升到760 nm,在实验中可从300 nm提升到600 nm。仿真与实验结果均证明双差动快速结构光显微测量方法的动态测量范围相比传统方法的动态测量范围提升了一倍,有效地拓展了快速结构光显微测量技术的应用范围。

高分辨率蓝光光学显微测量系统

本系统用波长为405nm的超亮度蓝色发光二极管作为光学显微镜的照明光源,结合CCD图像传感技术和图像采集技术,实现了对显微图像的实时观察和存取的计算机化。观察到的DVD盘片的清晰显微图像表明,其光学分辨率优于400nm。运用自编的图像分析软件对采集到的CD-RW光盘图像进行分析和标定,测定其道间距为1.6μm。因此,本系统在显微观测领域,特别是对观测和分析接近普通光学显微镜分辨极限尺寸的微结构,有重要的实用价值。

用图像处理软件PhotoShop进行显微测量

显微物体的大小尺寸及面积的测量是一个常见但较复杂的问题。采用显微图像采集技术及常用图像处理软件PhotoShop,作为解决这一问题的简单方法,结果准确可靠,利于多数实验室推广。

数字图像消卷积在显微测量中的应用

研究了数字图像消卷积在显微测量中的应用。在测量系统点扩展函数的基础上,利用频谱空间变换消卷积图像处理方法,消除了传统光学显微成像中的几何不清晰度。通过对显微图像进行复原,实现了反射式一维线宽的显微精确测量。在医用接骨钢板表面质量的评价中,对10μm量级的划痕宽度实现了精确和方便的测量。该技术对相关计量技术的发展具有重要意义。

旋毛虫幼虫形态显微测量方法分析

通过用显微测微尺、图像分析仪和图像手工测量3种显微测量方法测量旋毛虫幼虫,分析了3种方法的精度、误差、可靠性及适用性。结果在可靠性和综合效力方面,图像手工测量和图像分析仪具有较大优势。对于微小标本的不规则图形的长度测量,适合用图像手工测量方法;对于微小标本的规则图形或直线距离,3种方法相当,但图像分析仪和图像手工测量的精度要高一些。

高分辨405nm激光显微测量系统

目的观测微小样品和测量接近光学显微极限的微小结构。方法采用405nm激光作为显微测量系统的照明光源,以道间距为0.74μm的DVD-R盘片为标准时对激光显微测量系统进行标定,同时通过自编分析软件对CD-R盘片和DVD-R盘片进行了测量分析。结果所研究405nm激光显微测量系统是有较高的显微测量精度,同时是有实时采集、实时显示功能。结论本系统较传统白光照明具有亮度高、色差小、测量精度高等优点,可用于观测微小样品和测量接近光学显微极限的微小结构。

一种植物叶片的解剖结构显微测量新方法

通过传统的双重染色法用短花针茅(Stipa Breviflora)叶片制作石蜡切片,采用地理信息系统GIS技术中的ArcGIS图像处理软件对切片进行矢量化,并对切片结构数据进行统计。此方法操作灵活,测量精确,有效的解决了不规则面积测量和计算的问题,减少了人为误差,可单独保存和再次读取,因此在显微测量中提供了新的技术。

一种CCD显微测量系统

本文介绍一种CCD显微测量系统 ,该系统将CCD技术、计算机技术引入传统的显微测量体系 ,实现显微测量光电化。

过焦扫描光学显微测量技术综述

随着半导体产业的发展和器件性能的不断提升,半导体器件的特征尺寸越来越小,器件结构越来越复杂,对检测仪器的性能提出了更高的要求。首先介绍过焦扫描光学显微法(Through-focus Scanning Optical Microscope,TSOM)的测量装置及测量原理,该方法可实现三维几何参数的无损测量,因其具有精度高、速度快、成本低等优点,可以满足在线测量的需求;然后从TSOM图构建和待测参数提取两个方面对TSOM方法的研究进展进行了梳理和归纳;最后对TSOM方法未来的研究重点和发展方向进行了展望。该方法有望为我国半导体制造产业提供新的检测手段,为优化和提升我国半导体制造工艺提供重要的技术支撑。

基于立体视觉技术的磨粒显微测量方法

铁谱分析在航空发动机运行状态监控和故障诊断中有着极其重要的实际应用价值 ,准确获取铁谱磨粒的几何参数是进行有效分析的关键。但到目前为止 ,铁谱磨粒的三维尺寸特别是厚度的测量仍然没有一套经济有效的方法 ,据此对基于立体视觉的磨粒显微测量方法做了长期的研究 ,并提出相应的软硬件系统和实现方法 ,初步解决了磨粒的三维测量问题。该方法根据双目立体视觉的深度感知机理 ,利用光学显微镜模拟体视模式进行光学成像 ,并辅助相应的匹配方法和计算方法来处理像对 ,获取微粒的厚度尺寸 ,并根据高度分布重建磨粒的表面形态。该方法达到了较好的实验效果 。

光学涡旋应用于微测量的研究进展

涡旋光是具有螺旋型相位波前和相位奇点的光束,相位奇点处的相位不确定,而光强为零。携带非零轨道角动量的涡旋光在微测量方面具有广阔的应用前景。主要介绍了光学涡旋干涉术、光学涡旋计量术的工作原理和研究进展,并介绍了其他应用光学涡旋进行变形测量的研究进展。并对光学涡旋在该领域的研究和应用前景进行了展望。

数码显微测量技术在扶桑叶显微鉴别中的应用

目的:利用数码显微测量技术测量扶桑叶中显微结构的大小和显微常数。方法:采用Motic BA300数码显微镜,Motic DigiClass 1.2图像观察与拍照软件及Motic Images Advanced 3.2图像处理软件对扶桑叶粉末制片、表面制片或整体透化装片中的草酸钙簇晶的直径、栅表比、脉岛数、气孔数和气孔指数进行测量。结果:扶桑叶中草酸钙簇晶的直径为5-20μm,栅表比为1:(3.6±0.4),脉岛数为(11.7±2.1)个/mm2,下表皮气孔数为(0.37±0.04)个/mm2,气孔指数为(16.19±2.61)%。结论:数码显微测量技术具有操作简便、精度高、误差小、用时少的优点,可以在中药显微测量中进行推广。

不同显微测量方法的比较分析

目的:本文分析了三种显微测量方法的精度、误差、可靠性及适用性。在可靠性和综合效力方面,图像手工测量和图像分析仪具有较大优势。对于微小标本的不规则图形的长度测量,适合用图像手工测量方法。对于微小标本的规则图形或直线距离,三种方法相当,但图像分析仪和图像手工测量的精度要高一些。

电脑显微测量系统的研制

使用计算机和ＣＣＤ面阵传感器研制成功的电脑显微测量系统，克服了显微镜、投影仪等传统仪器的缺点，提高了显微观察的质量和测量的精度．介绍了利用该系统对细微物体的实象进行观察测量的装置原理，系统结构和有关参数的装配方法，重点讨论电脑显微测量系统的光路设计和器件的参数选取，并阐述了该系统的应用情况．

多传感器集成的智能化微测量系统研究

通过分析国内外坐标测量机的智能化和微测量方面的研究现状 ,提出多传感器集成的高速智能化微测量研究思路 ,并阐述了研究方法和测量系统原型。

显微测量技术在微生物教学及科研中的应用

介绍了显微测量技术,阐述了显微测量技术在微生物教学与科研中的应用情况。

图像无缝拼接技术在大视场显微测量系统中的研究现状

文章通过案例引出目前大视场显微测量系统在应用中的不足,提出了对大视场显微测量系统做自动化改造的迫切需求,并进一步分析了目前图像无缝拼接技术在大视场显微测量系统中的研究现状,旨在为从事大视场显微测量系统研制的人员提供最新的行业发展现状。

半导体芯片电路线宽显微测量精度分析

在显微图像的尺寸测量中,由于各种因素的影响,测量结果不可避免地存在着误差。为了充分认识并进而减小这些误差,提高测量精度,文章对标准件标定、显微光学系统的景深、对焦、光照亮度以及温度等影响测量结果的误差源作了细致的研究,给出了半导体芯片电路线宽显微测量结果及精度分析。

大视场面阵CCD显微测量仪

充分利用 CCD技术和计算机的图像处理能力 ,在满足大多工业精度要求的前提下 ,研制成了一种低成本、大视场的 CCD显微测量仪 ,用于光学元件的检测。当线视场为 10 mm时 ,该系统的横向分辨率可达 12 .9μm,精度可达1μm,纵向分辨率可达λ/8。

一种线阵CCD显微测量系统的标定方法

使用参数分离标定的方法对微小物体的在线高精度测量控制系统进行标定。研究了线阵CCD显微相机的成像模型,提出相机的内外参数分离标定方法,在实验室模拟工业环境下和工业现场分别标定相机的内参数和外参数。参数分离标定的方法简化了工业现场的标定任务,相机可应用于多种测量环境,且标定模板容易制作。实验证明该标定方法精度较高,标定后相机的极限误差为2.05μm。