微电子制造领域的磁悬浮精密定位平台的结构设计研究

利用磁悬浮技术将铁磁性平台悬浮在磁场中 ,通过线性电机无接触驱动 ,结合控制技术实现平台的快速精密定位。合理的设计将悬浮力和导向力两个磁悬浮系统合二为一 ,即结构简单 ,控制容易又能获得精确的导向精度。选用线性同步电机 ,避免了感应电机磁场感应所产生的法向力对平台的振动作用 ,有利于悬浮系统的控制。悬浮系统无接触 ,无摩擦 ,克服了磨损、金属粉尘及油脂污染等问题 ;无接触线性驱动减少了机械联结件 ,消除了联结间隙 ,减轻了重量 ,能有效提高动态响应频率和定位精度 ;这些使定位平台能够满足现代信息产业对超洁净制作环境和高精度。

微电子制造业人才需求与培养模式研究

人才短缺、质量不高和层次结构不合理等问题成为制约我国微电子制造业发展的重要瓶颈之一,其产生原因是微电子制造业人才需求与培养存在严重脱节。通过对台积电、中芯国际等微电子制造企业进行深入访谈调研,结合我国微电子制造业发展现状和趋势,提出一种互动式的,高校、企业和政府共同参与的微电子制造业人才需求与培养新模式,并探讨了新模式下的动态平衡及运行机制。

用于微电子制造的高速高精度运动系统关键技术

从机构设计、驱动方式、控制策略以及实时监测等方面对用于微电子制造的高速高精度运动系统关键技术进行综述。提出有待深入研究的方向:1)并联机构在系统中的应用;2)解决柔性结构振动问题的控制策略;3)用于实时动态全闭环控制模式的视觉伺服技术。

微电子制造工程人才培养模式创新实验区建设探索

电子制造业飞速发展,对微电子制造工程人才培养模式,提出了培养具有创新精神和实践能力的毕业生的新要求,为适应这一要求,对微电子制造工程人才培养模式创新实验区建设进行了探索。通过提出和确定人才培养模式改革的思路和定位、设计人才培养模式创新实验区方案、建立人才培养模式创新实验区管理与运行机制,最终形成了有利于多样化创新人才成长的培养体系,该体系的建立构建了新的人才培养模式,有利于培养创新人才,为满足电子制造业对微电子制造工程人才的需要奠定了坚实基础。

微电子制造工程专业实践教学的改进与思考

实践教学是微电子制造工程专业教学中的一项重要内容,本文分析了实践教学的必要性和实践中一些有益的思路与对策,探讨了目前在实践中以行业协会为平台进行校企联合教学培养的新途径,提出了一些实践体会与思考。

关于“微电子制造工程”专业建设的几点体会

本文基于微电子制造的特点、发展趋势及其在国民经济发展和国家安全的重要性,论述了该专业产生的背景、必要性和培养目标,并由此提出了该新兴专业建设的几点体会。

《微电子制造工程》本科专业课程体系建设

为我国高速发展的电子制造业培养高级应用型人才是微电子制造工程专业的培养目标。本文在分析微电子制造工程内涵的基础上,阐述了微电子制造工程专业的课程体系建设的基本指导思想、基本原则与课程体系内容。

微电子制造工程专业实验课程体系建设

微电子制造工程专业是理论性与实践性都很强的一门学科,实验教学对该专业合格人才的培养至关重要。结合微电子制造工程专业课程体系,以SMT工艺为中心对实验课程体系构建进行了探索和研究,主要内容包括实验教学体系、实验具体内容以及实验体系实施保障等。

微电子制造专业中光电检测技术教学改革的探索

光电检测技术是中南大学微电子制造工程专业一门重要的专业基础课。结合微电子制造专业的培养目标和专业特点,经过近几年的教学实践和对教学模式的不断改革创新,逐渐形成了一套比较完善的教学改革思路。实践表明,这些教学改革方法时代气息浓厚,针对性强,效果良好,对培养学生分析问题、解决问题、创造性探索的能力有很大帮助,为学生快速融入工程实践创造了条件。

微电子制造工程专业人才培养模式研究

微电子制造工程作为一个新兴的专业,在人才培养模式方面面临许多新的挑战。本文在论述了微电子制造工程专业知识范畴的基础上,从人才培养目标、培养方法、教学改革方法等方面进行了深入分析和研究,最后,通过实践进行了培养模式的验证。

构建微电子制造专业高效课堂的实践探索

为响应习近平总书记的号召——不断增强人民群众获得感,文章以国家紧缺专业技术培养微电子制造专业人才培养为目标,以学生课堂获得感为着力点,详细说明如何构建微电子制造专业高效课堂。先阐明了该高效课堂的必要性,然后从师生的角度说明如何做,最后对相关方法进行了实际评估。

微电子制造企业人力资源管理系统的现状分析

随着信息技术的广泛应用,越来越多的企业意识到人力资源管理系统正逐步成为信息时代人力资源管理的新模式,本文对微电子制造产业自身的特点和微电子制造企业人力资源特点做了简要的概述,结合目前全球信息化的发展趋势以及目前国家对企业信息化的政策导向,探讨了在微电子制造企业中实施人力资源管理系统的必要性,并对微电子制造企业人力资源管理系统的实施现状进行了介绍.

微电子制造中Ti的湿法蚀刻

综述了微电子制造工艺中Ti的湿法蚀刻的发展过程,指出了传统Ti蚀刻液的缺点;介绍了最新研究改良后的多种Ti蚀刻液配方和化学药品、废气、废液对人员环境的影响。

微电子制造科学与技术计划中的光刻工艺研究

微电子制造科学与技术（ＭＭＳＴ）计划中光刻工艺研究的主要对象是光学步进式光刻机，包括ｉ－线（３６５ｎｍ）和激发物激光深紫外线（２４８ｎｍ）光刻机。对于多数图形层，采用普通的光刻胶加温法显形；而对于关键的栅和金属层，则采用扩散。增强甲硅烷基化光刻胶（ＤＥＳＩＲＥ）工艺的表面成像干法显形光刻胶。在光刻工艺过程中，如果对所有关键工序，特别是曝光，都用实时传感器进行监控，即可达到对工艺控制实现完全自动化这一目标。

微电子制造工程专业的“产学研结合”创新性教育模式探索

本文基于微电子制造工程专业的特点和发展趋势,论述了该专业创新性教育模式的必要性和培养目标,并由此提出了该新兴专业"产学研结合"创新性教育模式的几点建议。

面向多品种、小批量微电子制造过程的SPC技术应用研究

统计过程控制(SPC)是质量管理中一种常用的工具,但由于高可靠微电子元器件生产企业绝大部分都是多品种、小批量生产,工序常规的SPC模型已经不能对这类生产型企业工序状态进行有效的监控。该文着重探讨分析一种嵌套回归SPC模型,这种SPC模型更适合成本较高的多品种、小批量生产模式,即能降低分析控制成本,又能很好地解决多品种、小批量生产统计过程控制所需数据不足的问题。

微电子制造工程专业课程体系建设

微电子制造工程为综合性边缘学科，它包含了机械、微电子学、精密控制、精密激光加工技术、微电子组装和封装技术、集成电路制造技术、元件检测技术等多学科的专业。学生知识面广，就业面宽，且微电子产品为国内及国外的第一大产业，人才需求大，是一个非常有发展前途的朝阳产业。它的发展得益于以下几个方面：

微电子制造科学与技术计划中的硅片清洗

在由得州仪器公司、美国国防部远景规划局和美国空军联合资助的微电子制造科学与技术（ＭＭＳＴ）计划中，硅片清洗的目标是开发旨在完全取代湿法清洗工艺的单片、全干法或汽相清洗工艺。氢氟醚（ＨＦ）汽相清洗和等离子体处理在去除氧化物、氮化物和金属刻蚀后的残余物方面取得了成功。但是，有效的干法工艺并不能取代炉前清洗所用的工业标准（ＲＣＡ）清洗和水冲洗。全干法工艺可能都还要花５到１０年才能成熟。以后几年，将开始采用特定的汽相清洗或干法清洁，以利于减少化学物品的消耗，从而降低这些清洗方法对化学物品处置的要求。

微电子制造科学与技术研究计划中的单圆片加工设备

由美国得州仪器（Ｔｌ）公司实施的微电子制造科学与技术计划全面采用了一种灵活的单圆片加工技术，该技术适合快周期的ＩＣ生产，且投资少，灵活性高。他们设计的实验型单圆片小型工厂包含３４个具有各种不同的工艺能源组合和现场监测与控制传感器的单圆片处理系统；采用模块化系统（大多为先进真空处理器（ＡＶＰ））进行了４０种不同的器件制造工艺实验；真空片盒在洁净环境中传递圆片；ＡＶＰ由计算机综合制造（ＣＩＭ）系统驱动和监督。已经开发出用于典型的０．３５μｍＣＭＯＳ工艺所需的全部热加工步骤的快速热处理（ＲＴＰ）ＡＶＰ。采用单圆片加工设备和全ＲＴＰ处理实现了完整的工艺一体化并创造了制造周期仅为３天的纪录。