“微电子工艺技术”课程建设探索

课程建设主要包括课程模式和教学模式两方面的建设。结合“微电子工艺技术”课程的特点,论文从课程大纲制定、教学内容更新、师资队伍建设、线上资源制作、教学模式和教学方法优化、课程考核体系建立等多个方面提出了具体的建设方案。课程建设方案对工科专业课程具有一定的普适性,可以推广应用。

“微电子工艺技术”教学改革创新与实践

以“立德树人”和“新工科”理念为指导,树立以学生为中心,优化课程知识体系结构,将虚拟仿真、项目式教学和校企协作育人等教学模式有机融入课程体系建设,构建链条式的课程知识地图和由价值观塑造、知识传授和能力培养组成的闭合回路,打破了传统观念束缚和时空限制,推进现代信息技术和产业与微电子工艺教学的深度融合,提升学生知识应用和工程实践能力,培养专业责任感和家国情怀。

二元光学——九十年代的光学技术

以光的衍射原理为基础的二元光学,近年来受到人们的极大重视,被喻称为九十年代 的光学技术。因为二元光学器件虽然还不能完全取代传统的折射光学器件,但它有更广泛的应用范围和更好的工作效果,且具有造价低廉与重量轻便的优点。所以,二元光学的发展前途是非常良好的。近年来飞速发展的半导体微电子工艺技术,又为研制高质量的二元光学器件提供了良好的技术设备基础。

充分发挥标准化在工艺管理中的作用

概述了标准化在工艺管理中的作用,并通过以型号产品为主线,抓工艺规程的编制;以实施标准为动力,开展工艺整改与调整;积极宣贯质量方针,实施工艺文件复查;以关键工序为龙头,搞好工艺规范化;认真抓工艺更改,完善工艺管理等方面,阐述了抓住机遇,与微电子工艺加工技术有机结合,适时发挥标准化作用的具体做法。

微细加工技术——光刻技术简介

随着信息时代的到来,信息高速公路、网络技术、移动通信技术和多媒体技术的飞速发展,促进了高集成度、超高速、超高频集成电路及器件的研制与开发,特征尺寸越来越细,加工尺寸进入深亚微米、百纳米以至纳米级.图1是新型计算机硬盘读头的平面示意图,其特征尺寸小于1微米.