微机械氮化硅梁谐振式压力传感器

报导一种新型的电热激励、压阻拾振的氮化硅梁谐振式压力传感器。器件采用微电子机械加工技术和键合技术研制。谐振频率 85kHz ,空气中品质因素Q值接近 10 0 0 ,在真空中达到 40 0 0 0。采用闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性 ,压力测试范围 0～ 40 0kPa ,灵敏度 2 3.8Hz kPa。

微型硅谐振式压力传感器的研制

利用微电子机械加工技术成功地研制出电热激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器。传感器的谐振器的品质因素Q值在真空中大于 10 0 0 0。采用特殊闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性 ,压力测试范围 0～ 40 0kPa ,线性相关系数 0 .9999,测试精度优于 0 .1%FS。

一种新型的光寻址电位传感器研究

依据光寻址电位传感器 (LAPS)工作原理和光生载流子在硅片中扩散理论 ,提出了一种正面光照的LAPS新结构设计 ,在正面光照方式的测量池、插件式芯片和硅尖阵列芯片等方面具有创新性 .新型LAPS的光电流信号比背面照射的提高了 4倍 ;在检测标准缓冲溶液pH4 0 0、pH6 86、pH9 18的pH值时 ,线性相关系数 0 9999,灵敏度为 5 0 1mV/pH .重复检测pH9 18标准缓冲溶液四次的标准偏差和变异系数分别为 0 5 7mV、0 0 4 8% .最后 ,分析讨论了三电极测量方法和新型LAPS结构特色、以及LAPS电解质电导对光电流的影响等 .

硅微结构惯性传感器的研制现状及应用前景

本文从介绍硅微结构惯性传感器的研制背景入手，分析了微米／纳米技术近年来的进展对发展硅微传感器的推动作用，重点介绍了美国主要公司有关硅微结构惯性仪表的研制现状，最后结合市场预测，提出笔者对我国发展硅微惯性传感器的几点浅见。

单片偏航角速度陀螺仪的原理与应用

介绍了一种单片集成化偏航角速度陀螺仪的工作原理与典型应用,阐述了角速度测量仪的设计要点。该仪器可精确测量转动物体的偏航角速度,适用于各种惯性测量系统(例如检测汽车底盘)。