微电子机械系统研究领域的最新进展——IEEE MEMS 2018国际会议综述

18年1月21日至25日在英国贝尔法斯特会展中心举行(见图1),吸引了来自世界各国相关领域的600余位专家学者,共同探讨微纳传感工艺等领域的最新进展与科学前沿。此次会议的大会主席由来自瑞士电子与微技术中心(CSEM)的Michel Despont教授与爱尔兰都柏林城市大学的Jens Ducrée教授共同担任,并设置了最佳口头报告奖与最佳张贴报告奖,得到了国际电气与电子工程协会(IEEE)与IEEE机器人与自动化学会等多个国际组织的大力支持。

微电子机械系统(MEMS)器件中的普通物理学原理

简要介绍了微电子机械系统,一个新兴的高新技术领域,并以微机械陀螺和加速度计结构为例说明了物理学基本原理在MEMS器件中的应用。

MEMS微电子机械系统与流程工业自动化

1引言在20世纪80年代，随着美国借助半导体集成电路制造技术研制成功微米级的硅微型静电电机而形成了微机械领域。这期间德国卡尔斯鲁厄原子核物理研究中心发明了LIGA技术（LIGA，Lithographie Galvanofomung Abfomung），并制作出微加速度器、微型涡轮、微电机等多种微机械和微光学元件和系统。日本也研制出在硅衬底上制造几十微米大小的微连接铰链、弹簧、齿轮等构件。

微电子机械系统(MEMS)技术及其应用

本文阐述微电子机械系统技术特点、加工工艺、发展前景及其国内外发展的动态 。

微电子机械系统(MEMS)光开关

1 前言 近年来,随着互联网的迅速普及,穿梭于通信网络的信息量正以爆炸性速度持续增长.据日本光协会预测,横跨太平洋光缆的国际通信网以每5年10倍的速度增长,到15年后的2015年,其增长速度将是现在的1000倍,也就是说每1根光纤必须具有1000Tbit/s的传输容量.

论微电子机械系统MEMS

简介了微电子机械系统MEMS的基本概念、构成及显著特点 ,并对微电子机械系统的典型器件如传感器 ,执行器等作了介绍与分析 ,提出了微系统之间要研究的问题 ;

浅谈MEMS技术——(微电子机械系统)

MEMS(微电子机械系统)技术为我们带来了具有传感和执行功能的电子器件,它们的价格更为便宜,技术更为成熟。

微电子机械系统的力学特性与尺度效应

针对微电子机械系统 (MEMS)材料的力学特性、工艺过程对力学特性的影响以及微执行器、微机器人的尺度效应等力学问题进行了研究。从力学角度提出了硅和常用的薄膜材料作为MEMS结构材料时应遵循的设计和加工原则 ,并系统地分析、归纳了静电、电磁、压电、形状记忆合金等各种微执行器的尺度效应特征。通过对机器蚂蚁、微型飞机、微型机器鱼等微机器人在微尺度下的动力学特性分析 ,得到微机器人在尺寸越小时越容易被驱动的结论 。

微电子机械系统的研究进展

本文从微电子机械系统 (MEMS)的基本加工技术和MEMS器件等方面介绍了MEMS的发展过程;综述了国内外MEMS加工技术 ,特别是新型MEMS器件与系统方面的最新研究进展 ,介绍了欧美日等发达国家和我国为MEMS的发展所作的努力 ,提出了“只有产业界及时介入才是中国MEMS研究的唯一出路”。

微电子机械系统技术及其应用

微电子机械系统技术的特点是可使制品微型化、集成化并以硅作为加工材料。该技术可分为体微机械加工、表面微机械加工、金属微机械加工和复合微机械加工四类。所采用的基础技术主要有:腐蚀技术、硅键合技术、多层无应力薄膜沉积技术、牺牲层技术、LIGA技术以及以上技术的复合,该项技术应用广泛。本文重点介绍在微传感器、微电机、机械滤波器和谐振滤波器等方面的应用,并探讨了发展方向。

碳化硅材料在微电子机械系统中的应用

碳化硅材料包括单晶碳化硅、多晶碳化硅、无定形碳化硅等,由于其显著的材料特性,如耐热、耐磨、化学惰性和高硬度等,近年来在微电子机械系统(MEMS)领域受到越来越多的关注。应用特定的工艺条件将碳化硅材料制成MEMS器件,可以在某些特殊条件下使用,克服了常规材料本身的局限性,从而为碳化硅材料的应用开发了新的领域。追踪这一国际热点研究问题,针对以上几种不同形态材料,分别举例说明了它们在MEMS领域应用的进展情况。

微电子机械系统计算机辅助设计

主要介绍 ＭＥＭＳ 计算机辅助设计（ＣＡＤ） 的研究内容和发展，以及和 ＭＥＭＳ ＣＡＤ 有关的ＭＥＭＳ 标准化制造技术的发展情况。

微电子机械系统的进展与应用前景

本文论述了MEMS的研究进展、设计思想。

微电子机械系统和片式系统

介绍微电子机械系统和片式系统的原理、构成和应用，并介绍几种已研制成功的微电子机械系统和片式系统。

微电子机械系统

概述了微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的特点、理论和技术基础。详细介绍了微型传感器、微型执行器、微型光机电系统（ＭＯＥＭＳ）、微型生物化学芯片、微型机器人、微型飞行器、微型动力系统和纳米电子机械系统等主要ＭＥＭＳ器件和系统及这些器件在个人运载工具导航、系统监控与故障预防、环境感知、小型分析仪、生物医疗器械和航空航天等领域的应用。最后简述了ＭＥＭＳ技术的发展趋势与我国的发展现状。

基于微电子机械系统传感器的功能性电刺激系统

我们设计了一个基于微电子机械系统(MEMS)传感器的功能性电刺激系统,系统由上位机和下位机两个部分组成,下位机包括信号采集传感器陀螺仪和无线蓝牙芯片,上位机包括电刺激输出系统和无线蓝牙芯片。下位机将采集到的角速度通过无线蓝牙传输给上位机,上位机实时处理接收到的角速度信号,通过步态分段算法检测摆动相,当检测到脚尖离地这个时刻,发出控制信号使电刺激系统输出信号,刺激患者胫前肌使足部产生背屈运动,从而克服足下垂步态。实验中将下位机分别穿戴在大腿、小腿和踝关节三个位置。结果表明,本研究所设计的算法能准确进行步态分段,准确率达97%以上,并且穿戴在小腿和踝关节位置较佳。此系统实现方法简单,且穿戴方便,为足下垂患者康复治疗提供更为安全有效的方法。

MEMS电磁执行器CoNi MnP永磁体阵列的制备

永磁材料在微电子机械系统 (MEMS)器件中具有重要的应用价值 ,例如微型开关、微型继电器以及微泵、微阀中作电磁执行器等。本文介绍了CoNiMnP永磁体阵列的制备技术 ,给出了工艺制备的实验条件 ,并利用SEM分析了阵列的表面形貌 ,电子能谱分析了永磁材料组分。实验结果表明 ,得到了很好的CoNiMnP永磁体阵列结构 ,具有较高的矫顽磁力的材料组分比例 :Co 85 %、Ni14 %。

微电子机械MEMS陀螺仪的原理和测试方法研究

作者从原理出发,结合实际开发的产品,由浅入深,提供了微电容检测和Q值测试方案,以及如何实现自动化测试。测试不仅能够检查裸芯片的性能是否符合要求,提前筛除不合格的产品,还能监视工艺的变化而可能导致的参数变化。

美国微电子机械系统的研究计划

美国高等研究计划局(ARPA)，制定的微电子机械系统研究计划的主要目的是开发先进的微电子机械系统(MEMS)装置和工艺。研究项目大致可分为四项，即(1)流体的测量和控制；(2)惯性测量装置；(3)光束的方向控制；(4)分散传感器网络。除了这些领域之外，或支持迄今为止研究中积累的某些项目，或帮助实施ARPA的计划及与其他部门合作进行的对各种系统的实验论证计划。

《微电子机械系统》

本书介绍了微电子机械系统（MEMS）的相关基础知识、MEMS主要工艺和器件结构等方面内容，对该领域的热点研究问题进行了探讨，主要内容分为五个部分，首先介绍MEMS的相关力学量测量方法，使读者对力学量方面的知识有详细的了解，然后介绍MEMS中的主要工艺，在此基础上，系统介绍MEMS中的传感器部分，包括传感器的原理、结构和实现方法，