微电容硅传感器及其变送器

本文主要介绍美国莫尔产品公司和日本富士株氏会社９０年代推出的新型高精度智能化变送器及其结构、特点、误差，以期达到对这种微传感器变送器的了解。

一种大厚度的三轴差分电容式硅微加速度计

介绍了一种新型三轴全差分电容式加速度计的设计和制备。设计的加速度计采用了三个共用同一玻璃衬底的大厚度差分电容式微结构 ,分别用于检测三个垂直方向的加速度。同时 ,对所设计的微结构从理论和数值上进行了详细的分析。用有限元分析工具 ANSYS对器件进行了模拟 ,模拟结果显示出器件设计的合理性。最后 。

圆形振动膜硅微电容传声器

硅微传声器是一种用MEMS技术制造的、将声信号转换为电信号的声学传感器.该传声器只需五次光刻工艺即可制作完成,其灵敏度在偏置电压为9V时可达15mV/Pa左右,在100Hz^18kHz的范围内的频率响应也较平坦.

二维电容式硅微加速度传感器的刚度求解

硅微电容式加速度传感器具有灵敏度高、噪音低、漂移小、功耗低、结构简单等优点 ,在军民两用市场中有着广泛的应用前景。本文针对自主开发设计的一种带折叠梁的二维叉指电容式硅微加速度传感器 ,采用力法求解了其主轴刚度 。

硅微电容传声器的防粘连结构

粘连是硅微电容传声器释放牺牲层过程中不容忽视的一个严重问题,大大降低了器件的成品率.在背板上制备微突出(bump)结构,可以较彻底阻止粘连现象发生,提高传声器的成品率.以往的防粘连微突出结构大都制备在上背板结构硅微电容传声器的背板上,它制备工艺简单,但是无法得到厚背板,形成“软”背板,影响传声器的性能.本文提出在下背板上制备防粘连微突出结构,因为其可以做的较厚,避免了软背板的缺点,这时利用氮化硅形成微突出,运用该法制备的硅微电容传声器有效的防止粘连现象发生.对该方案还可进行改进,利用重硼掺杂单晶硅形成微突出,该工艺流程重复性好.最终我们研制成具有防粘结构的硅微电容传声器.

电容式硅微加速度计变换方程的研究

研究了利用硅薄片为敏感元件的电容式加速度计 ,加速度计的悬臂梁与惯性质量块是一个整体结构 ,可以消除元件弹性连接的不完善性 ,而且极板间隙中空气相对介电常数εr 的高稳定性是这种电容式传感器的优点之一。给出了敏感元件的实际弯曲函数 ,分析了其变换方程及非线性。研究表明 ,在设计电容式硅微加速度计时 ,只要间隙调制深度在 -0 .5～ +0 .5 ,加速度计的变换函数基本满足线性 。

电容式硅微传声器设计及其移动通信中的应用

介绍了电容式硅微传声器的构造和工作原理,采用电-力-声类比法,建立了通用电容式硅微传声器的集总参数等效电路模型,并运用PSPICE软件对其动态特性进行计算机仿真,得到了仿真模型在1 kHz处的灵敏度达到-40 dB,并且在可听域范围内,频率响应平坦。

硅微电容智能型变送器在化工生产中的应用

对化工生产中常用的硅微电容智能型变送器的结构特点、工作原理、安装调试以及故障处理等进行阐述,并结合化工生产实际应用操作情况,分析了硅微电容智能型变送器的优劣,为化工生产一线的仪表技术人员提供借鉴。

基于光声光谱法气体探测传声器的研究进展

光声光谱法气体探测技术具有灵敏度高、选择性高、不消耗被测量气体等优点,在现代工农业、环境监测、生物技术等领域发挥着重要的作用。随着这些领域的发展,人们对气体探测器的综合性能要求越来越高,因而光声气体探测器得到了良好的发展和应用。基于光声光谱法探测气体是利用气体光声效应原理,其中传声器是气体探测系统的一个重要声电转换器件。文章介绍了光声光谱法气体探测的基本原理,光声效应产生机理,阐述了电容式传声器、驻极体传声器和悬臂式微传声器的研究进展及其与光声光谱法相结合在气体探测领域的应用现状。详细介绍了几种传声器的优缺点,并展望了高灵敏微传声器的发展及其应用意义。

硅微加工超声成像传感器的理论模型和优化设计

对硅微加工静电或电容超声成像传感器提出了一个理论模型和数学描述.根据这个模型,可从传感器的几何结构尺寸和所用材料的物理参数预测其固有频率、本征模、共振和反共振频率、膜片机械阻抗这些基本性能参数.同时揭示了这种传感器有两个基本工作模式,分别对应由膜片和气隙构成的质量弹簧振子共振和膜片本身的一阶弯曲振动模式,进而提出通过设计使这两个模式耦合展宽带宽的方法,从而为优化设计提供了理论基础.

富士压力变送器技术特性及选型应用

从富士压力变送器工作原理入手,分析硅微电容传感器、先进浮动膜盒的结构组成、功能特性和技术优势。对差压变送器选型、耐腐蚀材质选取、接液温度与工作压力的对应关系以及远传法兰变送器适配连接等问题进行了论述,从仪表选型角度提出应对办法。对富士系列变送器仪表选型具有一定的指导作用,对于其它品牌的压力变送器选型具有借鉴意义。

CXT智能变送器原理与应用

主要介绍了CXT型智能压力变送器的核心技术及其应用。核心技术包括硅微电容传感器、浮动膜盒结构以及双储双温电路等。

FCX法兰变送器充灌过程中特殊问题的处理

论述FCX法兰变送器在充灌工序中存在的问题,原因分析及其解决方法。同时对FCX产品及其工作原理作了简要介绍。

FCX系列智能变送器的工作特点及现场应用分析

本文叙述了富士电机FCX系列智能变送器结构特点以及在中石化沧州分公司现场应用的常见情况分析和解决方法。