微米/纳米加工中的聚焦离子束技术

聚焦离子束系统正成为微细加工领域的有力工具。文章简述了聚焦离子束系统的组成和工作原理,着重介绍了该系统在离子束刻蚀、离子束辅助沉积和离子注入等微米/纳米加工领域的应用,并对聚焦离子束技术的特点及未来的发展前景进行了总结和分析。