微米级光学光斑测量系统设计

微米级测量光斑是激光非接触共焦法测量核聚变微靶的一项重要指标。要使测量精度达到1μm,测量光斑直径也应在微米级。根据激光高斯分布理论,设计加工了在GJ—Ⅳ共焦测头上实现微米级焦点光斑的光学系统进行了测量误差分析。通过实验和测试,激光测量光斑为10μm,工作距离为20 mm,测量精度为0.04%。实验数据证明:设计的光学系统从测量范围、测量光斑尺寸、测量精度等方面均满足微靶球测量的要求。