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扫描电镜测量微米级长度的不确定度评定 被引量：5
1
作者 朱莉 王承忠 +1 位作者 纪红玲 斯初阳 《理化检验（物理分册）》 CAS 2003年第1期32-34,共3页
对扫描电镜测量微米级长度的不确定度进行了评定。对引起不确定度性的许多因素 ,如扫描电镜的分辨率、测量的重复性以及标尺的标定误差等作了分析和计算 ,特别对输入变量相关时的合成问题作了研究。最后得到了S 4 2 0
关键词 测量 评定 扫描电镜 微米级长度 不确定度
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