微米纳米技术在空间技术中的应用研究

空间技术对MEMS技术的需求主要体现在两个方面:首先是探索以MEMS技术为代表的微米/纳米技术在航天领域的应用,这方面的研究更多地体现MEMS技术对航天领域的技术推动作用,其成果主要体现在研制若干适合于航天领域使用的MEMS器件;其次主要以"虚拟卫星"和"网络卫星"为研究背景,介绍了采用一体化设计与系统集成的研究方法研制出的先进MEMS卫星.介绍了国内外微型航天器和MEMS的发展概况,重点分析了MEMS技术在微型航天器中的应用,指出了其发展前景,并介绍了目前我国在航天MEMS技术方面的研究情况.

中国微米纳米技术学会第14届学术年会暨中国微米纳米技术学会第3届国际会议

1会议基本情况 2012年11月4—7日，中国微米纳米技术学会第14届学术年会暨中国微米纳米技术学会第3届国际会议（含中国仪器仪表学会系统与器件分会的第6届微米纳米技术创新和产业化国际研讨会）在杭州召开。本次会议由中国微米纳米技术学会主办，浙江大学承办。来自国内外微纳米技术领域的知名学者、从业人员和学生参加了大会。

热烈祝贺中国微米纳米技术学会成立——访学会副理事长、秘书长尤政教授

微米／纳米技术是特征尺度跨越微米和纳米两个尺寸空间的高技术。微米／纳米技术既有区别，又有密切联系。总之，是21世纪的高技术，对国民经济、国防建没、科学研究和社会生活，以至于人们思维模式都有深远的影响。

中国微米纳米技术学会第14届学术年会暨第3届国际年会简介

中国微米纳米技术学会第14届学术年会（CSMNT2012）暨第3届国际年会将在杭州举办．杭州作为中国东部浙江省的省会，是一座现代的繁华城市．杭州位于京杭大运河的最南端，是八大古都之一．杭州最著名的景点是西湖．当13世纪的马可波罗来到杭州的时候．．发出了“杭州是世界上最美丽、最优雅的城市”的感叹．

中国微米纳米技术学会第十八届学术年会暨微系统与纳米工程高层论坛资讯

Joint Symposium of the 18th Annual Conference of Chinese Society of Micro-Nano Technology and Microsystems＆Nanoengineering Summit 2016（CSMNT2016＆MAN2016）,即中国微米纳米技术学会第十八届学术年会暨微系统与纳米工程高层论坛,将于2016年7月28—31日在北京新建大厦召开.本次会议由中国微米纳米技术学会主办,中国科学院电子学研究所承办.

中国微米纳米技术学会

中国微米纳米技术学会（CHINESE SOCIETY OF MICRO—NANO TECHNOLOGY，英文缩写为CSMNT）于2005年4月5日正式成立。学会挂靠于清华大学，业务主管单位为中国教育部、国家民政部。清华大学校长顾秉林院士为学会第一任理事长，总装备部丁衡高院士、中科院白春礼院士任学会名誉理事长。

中国微米纳米技术学会

中国微米纳米技术学会（CHINESE SOCIETY OF MICRO-NANO TECHNOLOGY．英文缩写为CSMNT）于2005年4月5日正式成立。学会挂靠于清华大学，业务主管单位为中国教育部、国家民政部。清华大学校长顾秉林院士为学会第一任理事长，总装备部丁衡高院士、中科院白春礼院士任学会名誉理事长。

中国微米纳米技术学会

中国微米纳米技术学会（CHINESE SOCIETY OF MICRO—NANO TECHNOLOGY，英文缩写为CSMNT）于2005年4月5日正式成立。学会挂靠于清华大学，业务主管单位为中国教育部、国家民政部。清华大学校长顾秉林院士为学会第一任理事长，总装备部丁衡高院士、中科院白春礼院士任学会名誉理事长。

中国微米纳米技术学会成立

微米纳米技术学会成立大会暨学术报告会4月5日在北京清华大学举行。清华大学校长顾秉林院士担任该学会理事长。

中国微米纳米技术学会第十一届学术年会将于8月在哈尔滨举行

中国微米纳米技术学术年会是目前我国专门面向MEMS技术与纳米技术的跨学科、跨地域、跨行业的学术年会，已经成为我国从事MEMS技术和纳米技术研究的高等院校、科研院所和企业展示与交流最新研究成果的重要平台。本届学术年会由哈尔滨工业大学、大连理工大学和黑龙江大学联合承办，并将于2009年8月在哈尔滨举行。会议将邀请国内知名学者就微米和纳米科技专题，

中国微米纳米技术学会

中国微米纳米技术学会（CHINESE SOCIETY OF MICRO—NANO TECHNOLOGY，英文缩写为CSMNT）于2005年4月5日正式成立。学会挂靠于清华大学，业务主管单位为中国教育部、国家民政部。清华大学校长顾秉林院士为学会第一任理事长，总装备部丁衡高院士、中科院白春礼院士任学会名誉理事长。

中国微米纳米技术学会日前在京成立

据媒体报导，中国微米纳米技术学会成立大会暨学术报告会日前在清华大学举行。该校校长顾秉林院士任该学会理事长，解放军总装备部丁衡高院士、中国科学院副院长白春礼院士任名誉理事长。

中国微米纳米技术学会第十六届学术年会暨第五届国际会议征文通知

中国微米纳米技术学会第十六届学术年会暨第五届国际会议，将于2014年8月31日至9月3日在成都召开。会议由中国微米纳米技术学会主办，中国工程物理研究院、中国电子科技大学承办，成都新材料产业研究院协办，教育部、科技部、工信部、国家自然科学基金委员会、国家纳米科技中心、中国科学技术协会、国家纳米技术与工程研究院共同支持。

液态金属离子源聚焦离子束系统在微米/纳米技术中的应用

随着微米／纳米科学技术的发展，微细加工微区分析所用的主要技术之一──聚焦离子束技术引人注目．本文简述了具有液态金属离子源的聚焦离子束技术的主要功能，着重报道了近年来该技术在下述领域中的应用：（1）半导体大规模集成电路器件的集成、失误诊断和修复．（2）光电子集成技术中量子阱激光器和光纤相位掩模的制备及量子效应研究．（3）超导器件和真空微电子器件的研制．（4）二次离子质谱分析和透射电子显微镜样品的制备．

微米／纳米技术

本文论述微米／纳米技术的实质，发展状况及应用前景。

中国微米/纳米技术第七届学术年会在大连召开

由国家自然科学基金委员会、国家科技部、中国微米纳米技术学会、中国机械工程学会和中国仪器仪表学会主办，中国机械工程学会微纳米制造分会、东北MEMS研发联合体及大连理工大学承办的中国微米／纳米技术第七届学术年会于2005年8月13日至16日在美丽的海滨城市大连举行．参加本届会议的有来自全国各地区的261位代表，还有来自国外的几位特邀代表．本次学术会议开得热烈隆重，大家一致认为本次学术会议反映了我国微米／纳米技术研究的现状，表明我国微料纳米技术研究水平在不断提高，特别是在实用化产业化方面有明显进展．

中国微米/纳米技术第七届学术年会会议纪要

由国家自然科学基金委员会、国家科技部、中国微米纳米技术学会、中国机械工程学会、中国仪器仪表学会主办，中国机械工程学会微纳米制造分会、东北MEMS研发联合体、大连理工大学承办的中国微米／纳米技术第七届学术年会于2005年8月13日至16日在美丽的海滨城市大连举行。参加本届会议的有来自全国各地区的261位代表，其中还有几位来自国外的特邀代表。本次学术会议开得热烈隆重，大家一致认为本次学术会议反映了我国微米／纳米技术研究的现状，表明我国微米／纳米技术研究水平在不断提高，特别是在实用化和产业化方面有明显进展。

中国微米／纳米技术第七届学术年会圆满闭幕

由国家自然科学基金委员会、国家科技部、中国微米纳米技术学会、中国机械工程学会、中国仪器仪表学会主办，中国机械工程学会微纳米制造分会、东北MEMS研发联合体、大连理工大学承办的中国微米／纳米技术第七届学术年会于2005年8月13日至16日在美丽的海滨城市大连举行。参加本届会议的有来自全国各地区的261位代表，其中还有几譬来自国外的特邀代表。本次学术会议开得热烈隆重，大家一致认为，本次学术会议反映了我国微米／纳米技术研究的现状，表明我国微米／纳米技术研究水平在不断提高，特别是在实用化、产业化方面有明显进展。