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一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化 被引量：4
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作者 黄树森 郭南翔 +3 位作者 黄晖 宋朝辉 李欣昕 王跃林 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期305-308,共4页
给出了一种新型的微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器的工作原理。该设计能同时提高传感器的灵敏度和自由振动频率。基于分析模型 ,本文还给出了传感器的结构优化和各种量程的设计规则。采用SOI硅片和深反应离子刻蚀 (DRIE)
关键词 微机械 压阻式加速度传感器 设计优化 微粱直拉直压 离子刻蚀 振动频率
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