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微系统制造用的硅微加工新技术
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作者 吴一辉 《光机电信息》 1999年第11期1-7,共7页
传统的体微加工是指薄片上的各向异性刻蚀。该技术当前已被广泛使用,它的缺点是结构一般相对较大,所以要占据绝大部分的芯片空间。在晶片的背面进行腐蚀,大多是由(111)面来形成侧壁,垂直壁可由(110)面形成。可以看出,这种微加工方法是... 传统的体微加工是指薄片上的各向异性刻蚀。该技术当前已被广泛使用,它的缺点是结构一般相对较大,所以要占据绝大部分的芯片空间。在晶片的背面进行腐蚀,大多是由(111)面来形成侧壁,垂直壁可由(110)面形成。可以看出,这种微加工方法是双向完成的。该技术的一个优点是不需要高温,微加工是以后处理方式进行的,且多数都是用KOH作腐蚀液。然而,如果接续下来的工作也需在超净室中完成测最好的选择是TMAH。 展开更多
关键词 加工 微系统制造 加工 表面加工
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微制造系统中的微细电火花加工技术 被引量:13
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作者 王振龙 赵万生 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2003年第9期23-27,共5页
文章系统地研究和综述了微细电火花加工技术的研究现状和发展趋势 。
关键词 制造系统 细电火花加工 制造 三维结构 线电极电火花磨削
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基于神经网络与PID控制的微制造试验平台隔振系统的混合控制 被引量:1
3
作者 韩亚利 王建平 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2008年第1期25-28,共4页
利用神经网络与PID控制算法,提出了一种针对微制造平台振动的混合控制方法。该方法较好地实现了神经网络与PID算法的结合,弥补了微制造系统动态性能差的缺陷。仿真结果表明,该方法具有良好的减振效果。
关键词 神经网络 PID控制 混合控制 制造系统 隔振 仿真
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微制造信息系统综述
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作者 徐晶晶 姚李英 +2 位作者 刘世炳 吴坚 陈涛 《机械设计与制造》 北大核心 2007年第6期203-205,共3页
信息技术在微制造业的应用给传统的微制造业带来了新的气象,该文详细阐述了微制造业信息系统的概念,功能和重要性,随后介绍了国内外微制造信息系统的发展状况及存在的一些问题,最后针对微制造信息系统的发展前景进行了展望。
关键词 制造 信息管理系统 远程监控 制造信息系统
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终身学习、把握前沿、开拓创新、发展机械制造业 被引量:1
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作者 张国雄 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2002年第4期5-8,31,共5页
国际生产工程学会第 5 1届年会于 2 0 0 1年 8月在法国南锡举行。大会的主题是 :终身学习、把握前沿、开拓创新、发展机械制造业。只有开拓创新 ,才能不断前进。信息化和绿色制造是新世纪制造业的主要特征 ,仿生制造是新兴的前沿 ,纳米... 国际生产工程学会第 5 1届年会于 2 0 0 1年 8月在法国南锡举行。大会的主题是 :终身学习、把握前沿、开拓创新、发展机械制造业。只有开拓创新 ,才能不断前进。信息化和绿色制造是新世纪制造业的主要特征 ,仿生制造是新兴的前沿 ,纳米和微系统制造技术是时代对机械制造业赋予的使命。为了做到这一切 。 展开更多
关键词 创新 信息化制造 微系统制造 纳米制造 机械制造 绿色制造 仿生制造
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Design and Performance Analysis of Micro Proton Exchange Membrane Fuel Cells 被引量:3
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作者 钟振忠 陈俊勋 彭荣贵 《Chinese Journal of Chemical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第2期298-303,共6页
This study describes a novel micro proton exchange membrane fuel cell(PEMFC)(active area,2.5 cm2).The flow field plate is manufactured by applying micro-electromechanical systems(MEMS) technology to silicon substrates... This study describes a novel micro proton exchange membrane fuel cell(PEMFC)(active area,2.5 cm2).The flow field plate is manufactured by applying micro-electromechanical systems(MEMS) technology to silicon substrates to etch flow channels without a gold-coating.Therefore,this investigation used MEMS technology for fabrication of a flow field plate and presents a novel fabrication procedure.Various operating parameters,such as fuel temperature and fuel stoichiometric flow rate,are tested to optimize micro PEMFC performance.A single micro PEMFC using MEMS technology reveals the ideal performance of the proposed fuel cell.The optimal power density approaches 232.75 mW·cm-1 when the fuel cell is operated at ambient condition with humidified,heated fuel. 展开更多
关键词 micro proton exchange membrane fuel cell flow field plate micro-electromechanical systems technology SILICON
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Measuring In-Plane Micro-Motion of Micro-Structure Using Optical Flow 被引量:1
7
作者 金翠云 靳世久 +1 位作者 栗大超 王建林 《Transactions of Tianjin University》 EI CAS 2009年第1期19-22,共4页
Optical flow method is one of the most important methods of analyzing motion images. Optical flow field is used to analyze characteristics of motion objects. According to motion features of micro-electronic mechani-ca... Optical flow method is one of the most important methods of analyzing motion images. Optical flow field is used to analyze characteristics of motion objects. According to motion features of micro-electronic mechani-cal system (MEMS) micro-structure, the optical algorithm based on label field and neighborhood optimization is presented to analyze the in-plane micro-motion of micro-structure. Firstly, high speed motion states for each fre-quency segment of micro-structure in cyclic motion are frozen based on stroboscopic principle. Thus a series of dynamic images of micro-structure are obtained. Secondly, the presented optical algorithm is used to analyze the image sequences, and can obtain reliable and precise optical field and reduce computing time. As micro-resonator of testing object, the phase-amplitude curve of micro-structure is derived. Experimental results indicate that the meas-urement precision of the presented algorithm is high, and measurement repeatability reaches 40 nm under the same experiment condition. 展开更多
关键词 micro-electronic mechanical system (MEMS) MICRO-MOTION stroboscopic imaging optical flow label field
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