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谐振式MEMS磁传感器接口电路设计
被引量:
3
1
作者
高华磊
徐德辉
+2 位作者
刘松
马颖蕾
熊斌
《传感器与微系统》
CSCD
2016年第11期87-89,93,共4页
介绍了一种谐振式微系统(MEMS)磁传感器的接口电路,电路由驱动电路和信号检测处理电路组成。驱动电路采用直接数字频率合成器(DDS)产生磁传感器驱动信号,同时为检测电路提供同步信号;信号检测处理电路对磁传感器输出信号和DDS产生的同...
介绍了一种谐振式微系统(MEMS)磁传感器的接口电路,电路由驱动电路和信号检测处理电路组成。驱动电路采用直接数字频率合成器(DDS)产生磁传感器驱动信号,同时为检测电路提供同步信号;信号检测处理电路对磁传感器输出信号和DDS产生的同步信号进行同步解调,最终得到所需的磁场信号。最后对电路的性能和测试结果进行分析和总结。
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关键词
微系统磁传感器
直接数字频率合成器驱动
同步解调
接口电路
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职称材料
题名
谐振式MEMS磁传感器接口电路设计
被引量:
3
1
作者
高华磊
徐德辉
刘松
马颖蕾
熊斌
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2016年第11期87-89,93,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(51577186
51306200)
文摘
介绍了一种谐振式微系统(MEMS)磁传感器的接口电路,电路由驱动电路和信号检测处理电路组成。驱动电路采用直接数字频率合成器(DDS)产生磁传感器驱动信号,同时为检测电路提供同步信号;信号检测处理电路对磁传感器输出信号和DDS产生的同步信号进行同步解调,最终得到所需的磁场信号。最后对电路的性能和测试结果进行分析和总结。
关键词
微系统磁传感器
直接数字频率合成器驱动
同步解调
接口电路
Keywords
MEMS magnetic sensor
direct digital frequency synthesizer(DDS) drive
synchronous demodulation
interface circuit
分类号
TN709 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
谐振式MEMS磁传感器接口电路设计
高华磊
徐德辉
刘松
马颖蕾
熊斌
《传感器与微系统》
CSCD
2016
3
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