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一种基于扫描探针的微纳结构原位在线读写方法
1
作者
廖晓波
庄健
+4 位作者
邓亚楼
王志武
焦阳博翰
蔡勇
廖璇
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第5期148-156,共9页
基于扫描探针的弯月形液滴限制电化学沉积方法(Meniscus confined electrochemical deposition,MCED)能够在微纳尺度进行结构制造和表面修饰,近年来受到了众多研究者的广泛关注。然而,在三维微纳结构制造(“写”)过程中,无法在线原位检...
基于扫描探针的弯月形液滴限制电化学沉积方法(Meniscus confined electrochemical deposition,MCED)能够在微纳尺度进行结构制造和表面修饰,近年来受到了众多研究者的广泛关注。然而,在三维微纳结构制造(“写”)过程中,无法在线原位检测(“读”)加工结构形貌,导致其应用受到一定的限制。本研究对比分析了MCED微纳制造方法和扫描电化学池显微镜检测方法(Scanning electrochemical cell microscopy,SECCM)在系统物理配置和原理上的异同;提出SECCM交流调制模式对采用MCED方法制造的微纳结构进行在线原位成像,通过对比SECCM直流和交流模式的检测结果,发现交流模式能够有效克服直流模式对样本表面造成损伤的缺点,且抗干扰能力明显提高,成像图像的MSE降低了27.85%。对比扫描电子显微镜成像结果,验证了交流扫描模式能够较好的对样本进行在线原位成像,增加了MCED试验操作的在线可观测性和操作的准确性。因此,该方法使得在线MCED微纳操作可视、续接、定点修饰等功能成为可能,对扩宽MCED在微纳领域的应用具有重要意义。
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关键词
弯月形液滴限制电化学沉积
微纳三维打印
扫描电化学池显
微
镜交流调制模式
原位在线成像
原文传递
题名
一种基于扫描探针的微纳结构原位在线读写方法
1
作者
廖晓波
庄健
邓亚楼
王志武
焦阳博翰
蔡勇
廖璇
机构
西安交通大学机械工程学院
西南科技大学制造过程测试技术教育部重点实验室
出处
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第5期148-156,共9页
基金
国家自然科学基金(51375363)
四川省科技厅创业人才(2020JDRC0072)资助项目。
文摘
基于扫描探针的弯月形液滴限制电化学沉积方法(Meniscus confined electrochemical deposition,MCED)能够在微纳尺度进行结构制造和表面修饰,近年来受到了众多研究者的广泛关注。然而,在三维微纳结构制造(“写”)过程中,无法在线原位检测(“读”)加工结构形貌,导致其应用受到一定的限制。本研究对比分析了MCED微纳制造方法和扫描电化学池显微镜检测方法(Scanning electrochemical cell microscopy,SECCM)在系统物理配置和原理上的异同;提出SECCM交流调制模式对采用MCED方法制造的微纳结构进行在线原位成像,通过对比SECCM直流和交流模式的检测结果,发现交流模式能够有效克服直流模式对样本表面造成损伤的缺点,且抗干扰能力明显提高,成像图像的MSE降低了27.85%。对比扫描电子显微镜成像结果,验证了交流扫描模式能够较好的对样本进行在线原位成像,增加了MCED试验操作的在线可观测性和操作的准确性。因此,该方法使得在线MCED微纳操作可视、续接、定点修饰等功能成为可能,对扩宽MCED在微纳领域的应用具有重要意义。
关键词
弯月形液滴限制电化学沉积
微纳三维打印
扫描电化学池显
微
镜交流调制模式
原位在线成像
Keywords
meniscus confined electrochemical deposition(MCED)
micro-nano three-dimensional printing
AC modulation scanning mode of SECCM
in-situ online imaging
分类号
TG156 [金属学及工艺—热处理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种基于扫描探针的微纳结构原位在线读写方法
廖晓波
庄健
邓亚楼
王志武
焦阳博翰
蔡勇
廖璇
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021
0
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已选择
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