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开放式半导体微纳加工实验室危化品管理体系的规范化建设
1
作者
王英
程秀兰
+4 位作者
吴炜文
付学成
韩永来
沈赟靓
张明军
《实验技术与管理》
CAS
北大核心
2020年第12期292-294,322,共4页
开放式半导体微纳加工实验室具有工艺种类多、工艺复杂、工艺流程长等特点,在工艺过程中所涉及的化学品及特种气体种类多、易燃易爆试剂用量大、危险性高等,因此,对这类实验室的安全管理提出了更高的要求。根据这类实验室的特点,该文针...
开放式半导体微纳加工实验室具有工艺种类多、工艺复杂、工艺流程长等特点,在工艺过程中所涉及的化学品及特种气体种类多、易燃易爆试剂用量大、危险性高等,因此,对这类实验室的安全管理提出了更高的要求。根据这类实验室的特点,该文针对开放式微纳加工实验室的危化品规范化管理进行了探讨,为实验室安全运行打下了很好的基础。
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关键词
微纳加工实验室
危化品管理
特种气体
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职称材料
题名
开放式半导体微纳加工实验室危化品管理体系的规范化建设
1
作者
王英
程秀兰
吴炜文
付学成
韩永来
沈赟靓
张明军
机构
上海交通大学先进电子材料与器件校级平台
出处
《实验技术与管理》
CAS
北大核心
2020年第12期292-294,322,共4页
基金
2018年度上海研发公共服务平台建设资助项目(18DZ2295400)
上海交通大学决策咨询课题资助项目(JCZXSJB2020-011)。
文摘
开放式半导体微纳加工实验室具有工艺种类多、工艺复杂、工艺流程长等特点,在工艺过程中所涉及的化学品及特种气体种类多、易燃易爆试剂用量大、危险性高等,因此,对这类实验室的安全管理提出了更高的要求。根据这类实验室的特点,该文针对开放式微纳加工实验室的危化品规范化管理进行了探讨,为实验室安全运行打下了很好的基础。
关键词
微纳加工实验室
危化品管理
特种气体
Keywords
micro-nano processing laboratory
management of hazardous chemicals
special gases
分类号
X921 [环境科学与工程—安全科学]
G642.0 [文化科学—高等教育学]
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
开放式半导体微纳加工实验室危化品管理体系的规范化建设
王英
程秀兰
吴炜文
付学成
韩永来
沈赟靓
张明军
《实验技术与管理》
CAS
北大核心
2020
0
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