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开放式半导体微纳加工平台的开放管理模式探讨
被引量:
2
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作者
王英
程秀兰
+3 位作者
马玲
付学成
瞿敏妮
沈赟靓
《实验技术与管理》
CAS
北大核心
2020年第2期229-232,共4页
大型仪器设备共享是节约社会资源的重要手段。该文以上海交通大学先进电子材料与器件校级平台为基础,从实验室环境、设备工艺、物资需求、研究方向、人员等方面系统分析和总结了开放式半导体微纳加工平台的特点,并对实验平台开放所面临...
大型仪器设备共享是节约社会资源的重要手段。该文以上海交通大学先进电子材料与器件校级平台为基础,从实验室环境、设备工艺、物资需求、研究方向、人员等方面系统分析和总结了开放式半导体微纳加工平台的特点,并对实验平台开放所面临的挑战进行了探讨,为开放式半导体微纳加工平台的建设和管理提供借鉴和参考。
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关键词
微纳加工平台
开放式
平台
管理模式
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职称材料
先进微纳加工与测试平台超净化实验室环境系统设计综述
2
作者
朱俭峰
《洁净与空调技术》
2022年第1期71-79,共9页
西湖大学先进微纳加工与测试平台(以下简称“微纳平台”)依托工学院筹建,是西湖大学六个校级科研平台之一,秉承“顶尖、科学、经济”的理念,旨在打造由顶尖实验设备和优秀技术人才组建而成的先进微纳器件加工和微纳结构表征的大型仪器...
西湖大学先进微纳加工与测试平台(以下简称“微纳平台”)依托工学院筹建,是西湖大学六个校级科研平台之一,秉承“顶尖、科学、经济”的理念,旨在打造由顶尖实验设备和优秀技术人才组建而成的先进微纳器件加工和微纳结构表征的大型仪器共享服务平台。简述了微纳平台超净化实验室系统工艺设计原则、理念、内容和方案,为后期西湖大学云谷校区的平台建设以及其他高校科研院所的微纳平台建设提供了相关参照。
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关键词
先进
微
纳
加工
与测试
平台
超净化实验室
环境系统设计
公用工程
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职称材料
题名
开放式半导体微纳加工平台的开放管理模式探讨
被引量:
2
1
作者
王英
程秀兰
马玲
付学成
瞿敏妮
沈赟靓
机构
上海交通大学先进电子材料与器件校级平台
出处
《实验技术与管理》
CAS
北大核心
2020年第2期229-232,共4页
文摘
大型仪器设备共享是节约社会资源的重要手段。该文以上海交通大学先进电子材料与器件校级平台为基础,从实验室环境、设备工艺、物资需求、研究方向、人员等方面系统分析和总结了开放式半导体微纳加工平台的特点,并对实验平台开放所面临的挑战进行了探讨,为开放式半导体微纳加工平台的建设和管理提供借鉴和参考。
关键词
微纳加工平台
开放式
平台
管理模式
Keywords
micro-nano processing platform
opening platform
management model
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
先进微纳加工与测试平台超净化实验室环境系统设计综述
2
作者
朱俭峰
机构
西湖大学
出处
《洁净与空调技术》
2022年第1期71-79,共9页
文摘
西湖大学先进微纳加工与测试平台(以下简称“微纳平台”)依托工学院筹建,是西湖大学六个校级科研平台之一,秉承“顶尖、科学、经济”的理念,旨在打造由顶尖实验设备和优秀技术人才组建而成的先进微纳器件加工和微纳结构表征的大型仪器共享服务平台。简述了微纳平台超净化实验室系统工艺设计原则、理念、内容和方案,为后期西湖大学云谷校区的平台建设以及其他高校科研院所的微纳平台建设提供了相关参照。
关键词
先进
微
纳
加工
与测试
平台
超净化实验室
环境系统设计
公用工程
Keywords
Westlake Center for Micro/Nano Fabrication(WCMNF)
Ultra-clean lab
Environmental System Design
Public Works
分类号
TU83 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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职称材料
题名
作者
出处
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1
开放式半导体微纳加工平台的开放管理模式探讨
王英
程秀兰
马玲
付学成
瞿敏妮
沈赟靓
《实验技术与管理》
CAS
北大核心
2020
2
下载PDF
职称材料
2
先进微纳加工与测试平台超净化实验室环境系统设计综述
朱俭峰
《洁净与空调技术》
2022
0
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职称材料
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