微纳米级差压式气针传感器的研制

提出一种基于差压式气路的微纳米级分辨力气针传感器的设计和工作原理,并对其静态特性进行了理论分析和实验研究。分析出不同输入压力、不同主喷嘴和测量喷嘴孔径对传感器灵敏度和线性范围的影响大小,从而可获得高灵敏度和大线性范围气针传感器的各参数值。该传感器的测量范围为80μm,分辨力为0.01μm,测量不确定度小于0.3μm,适合于高精度微纳米级非接触尺寸测量场合。本文研究内容可以为高精度气动传感器的设计提供理论和实验依据。