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基于无线自供能的植入式微纳集成芯片与集成系统
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作者 叶乐 高猛 +13 位作者 张雅聪 高成臣 刘昱 刘欣 赵博 孟凡瑞 桂林 林俊淑 苏彬 马盛林 马伯志 祝斌 梁辰 黄如 《微电子学与计算机》 2023年第11期80-87,共8页
我国是慢性病大国,癌症、糖尿病、心脏病、癫痫、高血压等疾病已成为首要致死原因,医疗负担占比70%,形势严峻.相比口服,注射等传统给药方式,植入式精准靶向治疗按时按需、精准适量,见效迅速,几乎无副作用,被证实是慢性病的有效治疗方式... 我国是慢性病大国,癌症、糖尿病、心脏病、癫痫、高血压等疾病已成为首要致死原因,医疗负担占比70%,形势严峻.相比口服,注射等传统给药方式,植入式精准靶向治疗按时按需、精准适量,见效迅速,几乎无副作用,被证实是慢性病的有效治疗方式.目前我国在这一领域刚刚起步,尤其在高端植入微纳集成系统级芯片(System of Chip,SoC)、微纳系统集成和封装可靠性等方面,缺少原创性核心技术和共性技术支撑平台,严重落后于欧美发达国家,相关高端医疗器械及核心部件只能高价进口.因此,需要通过突破相关关键共性技术,核心部件国产化,从创新源头推动高端医疗器械发展,从而加速推动我国医疗器械产业化落地,打破欧美日发达国家垄断.本研究以突破医疗用微纳集成芯片和微纳集成系统关键共性技术为目的,解决了微电子小尺寸、高精度、低功耗等难题.通过三维异质集成构建植入式精准靶向给药系统和迷走神经刺激器,实现精准靶向给药、无线充电、生物电信号采集、电刺激等功能,项目样机已通过生物相容性测试和动物实验验证. 展开更多
关键词 SOC芯片 微纳集成 靶向给药系统 迷走神经刺激器
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多参量微纳集成传感器 被引量:1
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作者 宋金龙 何常德 +2 位作者 王任鑫 薛晨阳 张文栋 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第2期119-125,共7页
为了满足采煤机械工作状态在线监测在线分析系统对微纳传感系统小型化和集成化的要求,设计了一种将压阻式振动传感器与铂电阻温度传感器集成的多参量微纳集成传感器。振动传感器由一个惯性质量块、八个梁和边框组成,惯性质量块通过八个... 为了满足采煤机械工作状态在线监测在线分析系统对微纳传感系统小型化和集成化的要求,设计了一种将压阻式振动传感器与铂电阻温度传感器集成的多参量微纳集成传感器。振动传感器由一个惯性质量块、八个梁和边框组成,惯性质量块通过八个梁悬挂在边框上。为了减小集成传感器的面积,铂电阻温度传感器的形状为"蛇"形。对所设计的多参量微纳传感器进行了流片加工和性能测试,铂电阻温度传感器的灵敏度为1.04 mV/℃,量程为-20~80℃,振动传感器的灵敏度为49.89 mV/g,灵敏度幅值线性度为-0.33%,量程为50g。实验结果表明,研制的多参量微纳集成传感器满足对振动和温度信号测量的需求。 展开更多
关键词 多参量微纳集成传感器 在线监测在线分析系统 小型化和集成 压阻式振动传感器 铂电阻温度传感器
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Si基微纳集成光波导的理论设计
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作者 陈志文 李章健 +6 位作者 朱启乐 赵玉周 林旭彬 李静 蔡志岗 王钢 李宝军 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期229-232,共4页
提出了一种宽度从微米到亚微米、深亚微米、再到纳米级渐变的微纳集成结构光波导,并通过理论分析和模拟计算得到了基于Si基半导体材料的微纳集成光波导参数.其制作工艺非常简单,插入损耗在1~2.5dB之间.这种微纳集成光波导不但可解决芯... 提出了一种宽度从微米到亚微米、深亚微米、再到纳米级渐变的微纳集成结构光波导,并通过理论分析和模拟计算得到了基于Si基半导体材料的微纳集成光波导参数.其制作工艺非常简单,插入损耗在1~2.5dB之间.这种微纳集成光波导不但可解决芯径为10μm的单模光纤与纳米量级的光子晶体波导器件间的光对接、耦合和互连等难题,还可缩小光波导器件芯片的单元尺寸,有利于提高器件的集成度.为光电子器件向纳米光子集成方向的发展提供了新途径,为新一代全光通信用微纳新原理光电子器件及功能集成的发展提供了新思路. 展开更多
关键词 微纳集成 光波导 集成光学 集成光子学
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集成Ti/TiO_(2)敏感电极和液接式Ag/AgCl参比电极的pH微纳传感器 被引量:2
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作者 黄旭东 张井合 +4 位作者 胡凯凯 蒋晨星 王振宇 郜晚蕾 金庆辉 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2022年第3期250-256,263,共8页
常见的pH传感器大多采用电位法进行检测,基于电位法进行检测的传感器由敏感电极和参比电极组成。在尺寸仅为5 mm×5 mm的传感器芯片上制备了钛电极、银电极和铂电阻丝。采用电化学氧化的方法对钛电极进行阳极氧化制成Ti/TiO_(2)敏... 常见的pH传感器大多采用电位法进行检测,基于电位法进行检测的传感器由敏感电极和参比电极组成。在尺寸仅为5 mm×5 mm的传感器芯片上制备了钛电极、银电极和铂电阻丝。采用电化学氧化的方法对钛电极进行阳极氧化制成Ti/TiO_(2)敏感电极。采用电化学氯化的方法对银电极进行阳极氯化,再将饱和KCl溶液(3 mol/L)注入参比槽制成Ag/AgCl参比电极。铂电阻丝作为测温元件用于对pH值进行校准,电阻灵敏度约为14.21Ω/℃。在室温下、溶液温度为(13±1)℃时,测试芯片在不同pH值(4~10)溶液中的电压。通过线性分析得到传感器的分辨率约为17.92 mV/pH。控制溶液温度不变,对芯片在不同pH值(4.00、6.00、8.00和10.00)溶液中的电压进行测试,并得到该温度下的传感器分辨率。在不同溶液温度下对传感器的分辨率进行测试。测得不同溶液温度(25、20、15和10℃)下传感器的分辨率分别为28.31、23.45、19.33和13.62 mV/pH。通过温度补偿公式对pH值进行校准,计算得到的理论pH值与实际测量值的偏差≤0.25。传感器芯片具有体积小且易于集成的特点,可应用于各种水环境的检测。 展开更多
关键词 pH传感器 Ti/TiO_(2)敏感电极 液接式参比电极 微纳集成制造 电化学氧化/氯化
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微涡旋絮凝-逆流气浮-纳滤集成工艺去除水中腐殖酸的研究之二——以聚合氯化铁(PFC)为絮凝剂 被引量:12
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作者 王毅力 娄敏 +3 位作者 石宝友 王东升 刘杰 廖柏寒 《环境科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期791-797,共7页
试验研究了微涡旋絮凝-逆流气浮-纳滤集成工艺去除水中腐殖酸的工艺特征和效果.试验结果表明,微涡旋絮凝-逆流气浮工艺去除水中腐殖酸时,在聚合氯化铁(PFC)的最佳投药点0.62 mmol·L^-1(Fe^3+)下,出水水质符合纳滤膜系统预处... 试验研究了微涡旋絮凝-逆流气浮-纳滤集成工艺去除水中腐殖酸的工艺特征和效果.试验结果表明,微涡旋絮凝-逆流气浮工艺去除水中腐殖酸时,在聚合氯化铁(PFC)的最佳投药点0.62 mmol·L^-1(Fe^3+)下,出水水质符合纳滤膜系统预处理单元的要求,而且该工艺需要PFC絮凝剂的量较低.该预处理系统与纳滤系统组合的集成工艺可以使水中的腐殖酸有机物浓度大大降低,且含TQ56-36FC型纳滤膜的流程1比含M-N1812A型纳滤膜的流程2效果好.前者出水的TOC值可达0.48 mg·L^-1,CODMn值为0.64~0.69mg·L^-1,UV254值为0,且有95%以上的脱盐率.后者出水的TOC值为0.61~1.00mg·L^-1,CODMn值为0.72~0.97mg·L^-1,UV254值为0~0.0109,脱盐率很低.另外,尽管保安过滤/活性炭预处理有利于纳滤膜出水水质的提高,但活性炭柱的存在也降低了纳滤膜对有机物的去除率.动态实验结果表明,该集成工艺在本试验中运行周期为72h.水中颗粒物粒度分布表明,原水、絮凝后和气浮出水中颗粒物粒度分布的中位直径(d50)分别为2~5 μm、21 μm和16μm;经过保安过滤器或保安过滤器/活性炭柱,水样中的颗粒物的d50为0到几个μm;经过纳滤膜后,出水基本无颗粒物.初步研究表明,微涡旋絮凝过程中投药量对絮体的分形维数有着显著影响. 展开更多
关键词 涡旋絮凝-逆流气浮-集成工艺 腐殖酸 聚合氯化铁(PFC) 工艺特征 分形维数
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微涡旋絮凝逆流气浮纳滤集成工艺去除水中腐殖酸的研究——以聚合氯化铝(PACl)为絮凝剂 被引量:2
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作者 娄敏 王毅力 +1 位作者 刘杰 廖柏寒 《环境科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1156-1163,共8页
研究了微涡旋絮凝逆流气浮纳滤集成工艺去除水中腐殖酸的工艺特征和效果.试验结果表明,微涡旋絮凝逆流气浮工艺去除水中腐殖酸时,在最佳投药点(PACl),出水水质符合纳滤系统预处理单元的要求,而且该工艺需要PACl絮凝剂的量较低.该预处理... 研究了微涡旋絮凝逆流气浮纳滤集成工艺去除水中腐殖酸的工艺特征和效果.试验结果表明,微涡旋絮凝逆流气浮工艺去除水中腐殖酸时,在最佳投药点(PACl),出水水质符合纳滤系统预处理单元的要求,而且该工艺需要PACl絮凝剂的量较低.该预处理系统与纳滤系统组合的集成工艺可以使水中的腐殖酸浓度大大降低,且含TQ5636FC型纳滤膜的流程1比含MN1812A型纳滤膜的流程2效果好.前者出水的TOC值可达0.28~0.45mg·L-1,CODMn值为0.47~0.8mg·L-1,UV254nm值为0~0.0033,且有95%以上的脱盐率;后者出水的TOC值为0.52~1.25mg·L-1,CODMn值为0.66~1.0mg·L-1,UV254nm值为0.008~0.012,脱盐率很低.另外,尽管保安过滤器活性炭预处理有利于纳滤膜出水水质的提高,但活性炭柱与纳滤膜能去除的有机物种类有些重合,活性炭柱的存在也降低了纳滤膜对有机物的去除率.水中颗粒物的粒度分布表明,原水、絮凝后和气浮出水中颗粒物粒度分布的中位直径(d50)分别为5~6μm、10~14μm和8~13μm.经过保安过滤器或保安过滤器活性炭柱,水样中的颗粒物的d50为0到几个μm.经过纳滤膜后出水无颗粒物. 展开更多
关键词 涡旋絮凝-逆流气浮-集成工艺 腐殖酸 聚合氯化铝(PACl) 工艺特征
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微涡旋絮凝—逆流气浮—纳滤集成工艺去除水中腐殖酸的动态运行特征 被引量:1
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作者 娄敏 王毅力 +2 位作者 侯立安 刘杰 廖柏寒 《环境污染与防治》 CAS CSCD 北大核心 2006年第7期488-493,共6页
通过微涡旋絮凝—逆流气浮—纳滤集成工艺的动态试验研究,确定其运行周期为72h,能很好地去除水中腐殖酸有机物,但不同纳滤膜组成的集成工艺处理效果不同。采用PACl絮凝剂处理水样2时,以流程1运行的含TQ5636FC型纳滤膜的集成工艺出水的... 通过微涡旋絮凝—逆流气浮—纳滤集成工艺的动态试验研究,确定其运行周期为72h,能很好地去除水中腐殖酸有机物,但不同纳滤膜组成的集成工艺处理效果不同。采用PACl絮凝剂处理水样2时,以流程1运行的含TQ5636FC型纳滤膜的集成工艺出水的高锰酸盐指数为0.45mg/L,UV254nm在0.0033左右波动,且有95%以上的脱盐率。以流程2运行的含MN1812A型纳滤膜的集成工艺处理3种水样时的膜清水的高锰酸盐指数在0.75mg/L左右波动,UV254nm大都远小于0.0075,有时甚至为0。水样1和水样3的UV254nm平均值为0.0054,水样2的最低,平均值为0.0033,脱盐率只有6%~10%。以PACl为絮凝剂时,集成系统有较强的适应原水水质变化的能力。预处理中活性炭柱的存在提高了MN1812A型纳滤膜清水样的水质,但并没有延长膜的使用周期。这也表明膜的污染更重要的是来自无机物的污染。 展开更多
关键词 涡旋絮凝-逆流气浮-集成工艺 腐殖酸 聚合氯化铝 动态运行工艺特征
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基于“专创融合”的微纳光子集成课程教学探讨 被引量:3
8
作者 赵凯 王俊生 董建红 《科教文汇》 2022年第23期68-72,共5页
“专创融合”满足当前国家人才发展战略要求,该文进行了基于“专创融合”的微纳光子集成课程教学探讨。以微纳光子集成课程为载体,以光电信息技术及电子工程领域各学科知识所具有的学科思政教育元素为切入点,在微纳光子集成课程教学过... “专创融合”满足当前国家人才发展战略要求,该文进行了基于“专创融合”的微纳光子集成课程教学探讨。以微纳光子集成课程为载体,以光电信息技术及电子工程领域各学科知识所具有的学科思政教育元素为切入点,在微纳光子集成课程教学过程中整合思政内容,融入创新创业内容,教学采取全新模式,呈现面貌全新的课堂,不仅可以激发学生对于专业课的浓厚兴趣,而且可以培养学生的综合创新能力。 展开更多
关键词 专创融合 光子集成 创新创业 课程思政
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硅基微纳光波导集成型滤波器与光电探测器的应用分析
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作者 卫星 《科技风》 2014年第23期110-111,共2页
随着科学技术综合水平的不断提高,通信技术和信息已经越来越多的深入到人们生活的各个方面,并且深远的影响着社会经济的发展。就光通信技术这一点来说,人们不仅仅是希望它作用于长距离通信应用,而希望它延伸至中、短距离的通信以及互连... 随着科学技术综合水平的不断提高,通信技术和信息已经越来越多的深入到人们生活的各个方面,并且深远的影响着社会经济的发展。就光通信技术这一点来说,人们不仅仅是希望它作用于长距离通信应用,而希望它延伸至中、短距离的通信以及互连领域。基于此,光通信中的集成光电子器件也就受到了各方面的广泛关注。如何降低其成本并提高其工作效率也成为了我们研究的重心,基于此本文将对与其关系甚密的硅基微纳光波导集成型滤波器和光电探测器做一个系统的概述。 展开更多
关键词 通信技术 硅基光波导集成型滤波器 光电探测器
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某公司微纳光子集成中心职业病危害识别及关键控制点分析
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作者 崔英菊 侯淑媛 《中国卫生工程学》 CAS 2024年第1期8-11,共4页
目的 识别某公司微纳光子集成中心改造项目职业病危害因素,并分析职业病危害关键控制点。方法 2022年通过职业卫生现场调查、现场检测检验法对本项目职业病危害进行定性和定量评价。结果 本项目生产过程中产生的主要职业病危害因素有硫... 目的 识别某公司微纳光子集成中心改造项目职业病危害因素,并分析职业病危害关键控制点。方法 2022年通过职业卫生现场调查、现场检测检验法对本项目职业病危害进行定性和定量评价。结果 本项目生产过程中产生的主要职业病危害因素有硫酸、氨、氮氧化物、盐酸、氢氧化钠、氯气、六氟化硫、过氧化氢、氟化氢、三氯乙烯、异丙醇、磷酸、丙酮、镍及其化合物、二氧化锡、噪声。有毒物质检测合格率100%,噪声测量合格率100%。结论 该项目职业病危害因素较多,生产过程、设备检维修及事故应急救援时对毒物的控制为该项目职业病危害的关键控制点。企业应加强职业病危害关键控制点管理,防止中毒、灼伤等职业病危害发生。 展开更多
关键词 光子集成中心 职业病危害 关键控制点
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海洋温盐深高精度测量集成微纳传感器制备及测试
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作者 王振宇 管轶华 +3 位作者 尹加文 车啸婷 郜晚蕾 金庆辉 《中国科学:信息科学》 CSCD 北大核心 2022年第3期553-566,共14页
海洋传感器技术在海洋军事作战领域发挥着重要的作用,随着人类探索海洋的未知领域,海洋传感器技术逐渐发展,但现阶段发展不完全,主要依赖进口,国产化率低.海水的温度、盐度、深度(温盐深)是海洋环境测量的基本参数,目前国内温盐深三参... 海洋传感器技术在海洋军事作战领域发挥着重要的作用,随着人类探索海洋的未知领域,海洋传感器技术逐渐发展,但现阶段发展不完全,主要依赖进口,国产化率低.海水的温度、盐度、深度(温盐深)是海洋环境测量的基本参数,目前国内温盐深三参数传感器体积大、设备复杂、集成度低,难以满足实时在线检测的需求.本文基于微机电系统(MEMS)技术,制备了一批用于海洋温度、电导率和压力检测的温盐深集成微纳传感器,其中温度测量采用PT8000铂电阻传感器,盐度测量采用四电极法电导率传感器,深度测量采用压阻式压力传感器,通过离子注入工艺控制掺杂浓度形成压力敏感电阻,硅片下表面经过湿法腐蚀工艺形成压力形变所需的空间,最后键合硅片和玻璃制备出压力传感器,三参数传感器的制备工艺全兼容,具有较高的批量一致性.对于压力传感器,利用COMSOL仿真软件确定合适的传感器参数,得到0∼10 MPa下的宽范围量程,以满足1000 m水深检测的需求.利用嵌入式系统原理开发了针对制备的温盐深传感器的采样和读出电路,其中温度传感器的电阻为8231±100Ω,灵敏度为32.101Ω/℃,测量准确度达到±0.01℃;电导率传感器的电导池参数为2.594 cm^(−1),测量准确度为±0.05 mS/cm,与温度传感器联合测量消除了温度对电导率的影响;压力传感器的压敏区域构成了惠斯通(Wheatstone)电桥模型,消除了温度对压敏电阻的影响,采用矩形形变膜片,提高了压力线性度,传感器的测量准确度达到0.01 MPa,非线性误差为0.366%,重复性误差为0.376%,迟滞性误差为0.188%.结果表明,本文制备的温盐深传感器精度高、尺寸小、集成度高、可批量制造,适用于海洋温盐深参数精确定点测量的需求. 展开更多
关键词 海洋传感器 温盐深 微纳集成制造 高精度测量
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硅基集成光电子器件的新进展 被引量:12
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作者 周治平 郜定山 +2 位作者 汪毅 陈金林 冯俊波 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2007年第2期31-38,共8页
综述了硅基微纳激光器、调制器、探测器及光传输控制器件的最新研究进展。重点阐述了表面等离子体、量子阱、光子晶体及纳米光栅等新型结构在提高器件综合性能和降低器件尺寸方面的重大作用。同时,还展示了用标准互补金属氧化物半导体(C... 综述了硅基微纳激光器、调制器、探测器及光传输控制器件的最新研究进展。重点阐述了表面等离子体、量子阱、光子晶体及纳米光栅等新型结构在提高器件综合性能和降低器件尺寸方面的重大作用。同时,还展示了用标准互补金属氧化物半导体(CMOS)技术,实现硅基光子器件和电子器件在同一基片上微纳集成的巨大前景。 展开更多
关键词 硅基光电子器件 微纳集成 激光器 调制器 探测器 米光栅
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