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题名金刚石砂轮V形尖端的数控对磨微细修整技术
被引量:11
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作者
谢晋
谭廷武
郑佳华
蒋均海
黄少林
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机构
华南理工大学机械与汽车工程学院
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出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2010年第5期1-5,10,共6页
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基金
国家自然科学基金项目(51075156)
广东省科技攻关计划项目(2009B010900044)
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文摘
针对金刚石砂轮V形尖端的微细修整困难的问题,开发出一种对磨成型的V形尖端修整技术。在数控修整中,砂轮作V形的直线插补运动与修整工具对磨,逐渐被修整成V形尖端。本实验中修整工具分别是#600和#180绿碳化硅(GC)油石,砂轮分别为SD 400和SD 600金刚石砂轮。实验结果表明,较细粒度的修整工具不仅可以将砂轮V形尖端修整出更小的圆弧半径,而且也能够将微小磨粒修锐得更锋利,从而使加工的单晶硅微沟槽形状更加整齐。此外,采用修整后的圆弧半径小于20μm的SD 600金刚石砂轮V形尖端可以实现光纤石英微阵列沟槽的微细加工,也可以在SiC陶瓷和WC合金基板上加工出微锥塔阵列空间的功能表面。因此,数控对磨在位修整的工艺可以用于金刚石砂轮V形尖端的微细修整,实现硬脆性基板的微细磨削加工。
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关键词
金刚石砂轮
V形尖端
微细修整
微沟槽加工
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Keywords
diamond grinding wheel
V-tip
micro truing
micro grooving
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分类号
TQ164
[化学工程—高温制品工业]
TG74
[金属学及工艺—刀具与模具]
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