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微细加工光学技术的发展
1
作者
姚汉民
冯伯儒
《世界科技研究与发展》
CSCD
1997年第1期72-73,共2页
本文简要介绍了微细加工光学技术的发展和“微细加工光学技术国家重点实验室”及其发展目标、研究方向和目前的主要研究领域。
关键词
发展目标
研究方向
微细光刻技术
微电子
技术
微细
加工光学
技术
全文增补中
题名
微细加工光学技术的发展
1
作者
姚汉民
冯伯儒
机构
中国科学院光电技术研究所
出处
《世界科技研究与发展》
CSCD
1997年第1期72-73,共2页
文摘
本文简要介绍了微细加工光学技术的发展和“微细加工光学技术国家重点实验室”及其发展目标、研究方向和目前的主要研究领域。
关键词
发展目标
研究方向
微细光刻技术
微电子
技术
微细
加工光学
技术
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
全文增补中
题名
作者
出处
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1
微细加工光学技术的发展
姚汉民
冯伯儒
《世界科技研究与发展》
CSCD
1997
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