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微细加工光学技术的发展
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作者 姚汉民 冯伯儒 《世界科技研究与发展》 CSCD 1997年第1期72-73,共2页
本文简要介绍了微细加工光学技术的发展和“微细加工光学技术国家重点实验室”及其发展目标、研究方向和目前的主要研究领域。
关键词 发展目标 研究方向 微细光刻技术 微电子技术 微细加工光学技术
全文增补中
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