微细加工平台特性研究

通过对不同结构的微细加工平台的分析,指出采用Halbach磁阵和螺线管结构研制的微细加工平台的磁场特性比较复杂,难于建模和控制.提出了新型微细加工平台,并对它产生的磁通密度纹波进行了分析,提出以磁通纹波和驱动力为优化目的的二次序列法优化,优化结果表明,磁通纹波减小了30%,驱动力增加了10%.仿真结果表明,该系统有较好的频带宽(0～8 kHz).