微细加工设备与工艺的发展研究

阐述了发展微细加工设备是发展微电子产业的基础和先行.微细加工设备在军事上的应用、光刻制版和光学制版设备的技术突破及发展趋势.

2000年微细加工设备发展预测与对策（续）

２０００年微细加工设备发展预测与对策（续）电子部第四十五研究所（甘肃平凉７４４０００）童志义美国国防部高级研究计划局于１９９２年１０月与Ｓａｎｄｅｒｓ和Ｈａｍｐｓｈｉｒｅ两家公司签订了６５０万美元的国防高级光刻技术的合同，由Ｓａｎｄｅｒｓ公司使用Ｈａ...

微细加工设备维修工程研究

根据微细加工设备的维修实践，论述了微细加工设备维修工程管理的主要内容；阐述了维修工程的主要度量指标及柏拉图在维修工程中的应用；提出了故障模式。

微细加工设备动态

1 电子束曝光机 日本日立制作所研制成HL—800DI和HL-800DⅡ电子束直接作图装置。这种装置是在可变矩形束的基础上,采用自投影方式,使生产率大幅度提高,可作为64M～256MDRAM的曝光装置,用于存储器和ASlC的大批量生产。生产率为每小时可曝光20片ULSl储存器圆片。

廊坊通用机械有限公司

廊坊通用机械有限公司，系我国生产超微细加工设备的重点骨干企业。

廊坊通用机械有限公司

廊坊通用机械有限公司系我国生产超微细加工设备的重点骨干企业。企业所在地的廊坊市有着得天独厚的区位优势，距北京天津两大城市均不足60公里，陆、海、空运力集中，交通便利。企业实力雄厚，产品先进，设备精良，检测手段齐备。1996年经国家外经贸部批准，企业获得自营进出口权。

制造夯基础 创造筑广厦

长春光华微电子设备工程中心有限公司（以下简称：光华公司）的前身是中国科学院长春光学精密机械与物理研究所（以下简称：长春光机所）的一个研究部室,其技术人员多年来一直从事光、机、电一体化设备的研制开发工作,在光学、精密机械和计算机自动控制方面,在国内具有较强的技术优势,尤其在精密、超精密仪器设备及其相关精密机械传动和运动控制单元技术、高频高精度激光微细加工设备及其相关单元技术等领域具有较雄厚的理论基础和实际研制开发能力。在以往的科研开发过程中,这支队伍曾多次承担中国航空、航天、光电对抗、超精密加工、激光应用等国家重大科研任务,并取得了多项科研成果,积累了宝贵的技术经验。