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微细台阶测量技术的发展现状
被引量:
4
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作者
白立芬
李庆祥
+1 位作者
薛实福
黄成伟
《电子工业专用设备》
2001年第2期1-6,共6页
微细台阶参数是大规模集成电路和微机械结构制作过程的重要技术指标 ,直接影响器件和构件的特性 ,目前要求台阶测量应具有纳米级精度。概要介绍了台阶测量技术的发展情况 ,阐述了非接触台阶测量和接触式台阶测量技术 ,从测量原理、测量...
微细台阶参数是大规模集成电路和微机械结构制作过程的重要技术指标 ,直接影响器件和构件的特性 ,目前要求台阶测量应具有纳米级精度。概要介绍了台阶测量技术的发展情况 ,阐述了非接触台阶测量和接触式台阶测量技术 ,从测量原理、测量精度与分辨率、适用范围、对被测对象的要求与影响等几方面分析了各种测量方法的特点 ,并得出了结论。
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关键词
微细台阶
纳米技术
接触式测量
非接触式测量
技术发展
集成电路
微机械结构
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职称材料
智能化的微细台阶测量系统
2
作者
王云庆
李庆祥
+1 位作者
薛实福
周兆英
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第S1期389-390,共2页
智能化的微细台阶测量系统王云庆,李庆祥,薛实福,周兆英(清华大学)0引言在半导体生产工艺中,对各种微细台阶进行在线检测是保证产品质量、提高生产效率的重要手段。机械触针式台阶测量仪是台阶测量的重要仪器。本文介绍了清华大...
智能化的微细台阶测量系统王云庆,李庆祥,薛实福,周兆英(清华大学)0引言在半导体生产工艺中,对各种微细台阶进行在线检测是保证产品质量、提高生产效率的重要手段。机械触针式台阶测量仪是台阶测量的重要仪器。本文介绍了清华大学精密仪器与机械学系研制的高精度、...
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关键词
微细台阶
智能化
测量系统
测量原理
台阶
测量仪
工作台
测量精度
测量软件
半导体生产工艺
触针
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职称材料
题名
微细台阶测量技术的发展现状
被引量:
4
1
作者
白立芬
李庆祥
薛实福
黄成伟
机构
清华大学精密仪器与机械学系
出处
《电子工业专用设备》
2001年第2期1-6,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目 (5 9875 0 5 2 )
文摘
微细台阶参数是大规模集成电路和微机械结构制作过程的重要技术指标 ,直接影响器件和构件的特性 ,目前要求台阶测量应具有纳米级精度。概要介绍了台阶测量技术的发展情况 ,阐述了非接触台阶测量和接触式台阶测量技术 ,从测量原理、测量精度与分辨率、适用范围、对被测对象的要求与影响等几方面分析了各种测量方法的特点 ,并得出了结论。
关键词
微细台阶
纳米技术
接触式测量
非接触式测量
技术发展
集成电路
微机械结构
Keywords
Micro Step
Microtechnology and Nanotechnology
Contact Measuring
Non-contact Measuring
分类号
TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
智能化的微细台阶测量系统
2
作者
王云庆
李庆祥
薛实福
周兆英
机构
清华大学
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第S1期389-390,共2页
文摘
智能化的微细台阶测量系统王云庆,李庆祥,薛实福,周兆英(清华大学)0引言在半导体生产工艺中,对各种微细台阶进行在线检测是保证产品质量、提高生产效率的重要手段。机械触针式台阶测量仪是台阶测量的重要仪器。本文介绍了清华大学精密仪器与机械学系研制的高精度、...
关键词
微细台阶
智能化
测量系统
测量原理
台阶
测量仪
工作台
测量精度
测量软件
半导体生产工艺
触针
分类号
TP212.6 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
微细台阶测量技术的发展现状
白立芬
李庆祥
薛实福
黄成伟
《电子工业专用设备》
2001
4
下载PDF
职称材料
2
智能化的微细台阶测量系统
王云庆
李庆祥
薛实福
周兆英
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996
0
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职称材料
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