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场致射流微细放电加工实验研究 被引量:1
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作者 韩宁 张亚欧 赵万生 《电加工与模具》 2015年第2期4-7,共4页
对场致射流微细放电加工单晶硅进行了工艺实验研究,分析在不同加工极性下的加工机理,发现在正极性加工时,蚀坑在工件表面存在电解液残留是由电火花蚀除和电化学蚀除共同作用的结果,而在充分放电的情形下,是由电火花放电来实现材料蚀除的... 对场致射流微细放电加工单晶硅进行了工艺实验研究,分析在不同加工极性下的加工机理,发现在正极性加工时,蚀坑在工件表面存在电解液残留是由电火花蚀除和电化学蚀除共同作用的结果,而在充分放电的情形下,是由电火花放电来实现材料蚀除的;在负极性加工时,蚀坑仅仅是由电火花蚀除作用的结果。通过单因素实验获取喷管内径、极间距离、极间电压及工作液浓度对单次放电蚀坑直径的影响曲线,通过优化工艺参数在单晶硅表面加工出宽度为1μm、长度为5μm的微细沟槽。研究结果充分证明了场致射流微细放电加工的加工能力。 展开更多
关键词 场致射流 微细放电加工 单晶硅
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场致射流微细放电加工方法 被引量:1
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作者 许开仙 康小明 赵万生 《电加工与模具》 2013年第3期7-11,共5页
放电加工方法具备微纳米尺度加工的潜力。在微细放电加工过程中,微小的电极尺寸使电极损耗变得更明显,从而影响加工精度,因此需要有效地补偿电极损耗。为了解决这一难题,提出一种利用场致射流作为工具电极进行微细放电加工的方法——场... 放电加工方法具备微纳米尺度加工的潜力。在微细放电加工过程中,微小的电极尺寸使电极损耗变得更明显,从而影响加工精度,因此需要有效地补偿电极损耗。为了解决这一难题,提出一种利用场致射流作为工具电极进行微细放电加工的方法——场致射流微细放电加工。该方法以场致射流作为工具电极,不存在电极损耗及补偿问题,且依靠毛细管效应和所施加的电场即可实现电解液的自动供液而无需泵阀等元件。实验发现,射流放电可产生有效的材料去除,产生的单点放电蚀坑直径为2μm左右,表明场致射流微细放电加工是一种有效的微细加工方法,值得进一步研究。 展开更多
关键词 微细放电加工 场致射流 微细工具电极
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高电阻电极对微细电火花放电加工影响的研究 被引量:4
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作者 何春华 刘秀云 杨从斌 《科学技术与工程》 北大核心 2018年第2期237-241,共5页
微细电火花放电加工过程中,由于单位脉冲放电的材料去除率(放电凹坑直径)决定了最小加工尺寸以及微细电火花加工的加工表面粗糙度,所以减少单位脉冲放电的材料去除率具有重要作用。为达到此目的,采用具有高电阻材料如单晶硅作为工具电... 微细电火花放电加工过程中,由于单位脉冲放电的材料去除率(放电凹坑直径)决定了最小加工尺寸以及微细电火花加工的加工表面粗糙度,所以减少单位脉冲放电的材料去除率具有重要作用。为达到此目的,采用具有高电阻材料如单晶硅作为工具电极。分析结果显示,随着工具电极电阻提高,放电电流峰值逐渐降低,脉冲放电时间增加,放电能量减小。另外,研究并测试了硅电极加工不锈钢工件时电阻值对工件表面放电凹坑直径的影响。实验结果表明当硅工具电极电阻值提高时,放电凹坑直径逐渐降低;并达到最小值0.5μm;同时降低了工件表面粗糙度值0.03μm;提高了表面加工质量。 展开更多
关键词 微细电火花放电加工 材料去除率 放电凹坑 电阻 表面粗糙度
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工具和模具制造中的放电微细加工
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作者 HanspecterGrube AndreWolf +1 位作者 徐树兹 谭汝谋 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2001年第4期69-70,共2页
电加工(EDM)在微细技术的小型零件生产中正变得越来越重要,由于它的多功能性,其应用领域正日益广阔。
关键词 工具 模具 放电微细加工 加工 线切割 微细成型
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日本放电加工的新方法和新技术
5
作者 杜茂华 《机床与液压》 北大核心 2006年第10期223-227,共5页
综述了日本在放电加工领域的最新研究动态,包括成形放电加工、微细放电加工和线切割放电加工三部分内容。在成形放电加工方面,主要介绍一项新技术———气中放电高速三维空腔铣的原理、实验装置及加工效果;在微细放电加工方面,主要介绍... 综述了日本在放电加工领域的最新研究动态,包括成形放电加工、微细放电加工和线切割放电加工三部分内容。在成形放电加工方面,主要介绍一项新技术———气中放电高速三维空腔铣的原理、实验装置及加工效果;在微细放电加工方面,主要介绍一种新近开发的可同时加工微细轴和微孔的自动微孔加工装置和目前已加工出的微细轴的最小尺寸;在线切割放电加工方面,主要介绍了提高圆角加工精度的新方法、提高放电位置可控性的新方法和新的硅锭切片方法。 展开更多
关键词 成形放电加工 微细放电加工 线切割放电加工 动态
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DISCHARGE CHANNEL GROWTH IN MICRO EDM OF HIGH FREQUENCY PULSE 被引量:2
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作者 刘宇 王津 +1 位作者 王元刚 赵福令 《Transactions of Nanjing University of Aeronautics and Astronautics》 EI 2011年第4期353-361,共9页
The influences of intense magnetic pinch effect caused by electromagnetic field with high frequency on discharge channel expansion and plasma configuration change are discussed. The change of Lorentz force exerting on... The influences of intense magnetic pinch effect caused by electromagnetic field with high frequency on discharge channel expansion and plasma configuration change are discussed. The change of Lorentz force exerting on charged particles in discharge channel is calculated under the electromagnetic field with high frequency. Through the theoretical analysis and experimental study, the forming process of discharge channel is conjectured. And it is considered that the changes of discharge channel, such as the decrease of diameter and increase of energy density, coming from the intense magnetic pinch effect in high frequency electromagnetic field, are the main reasons for a series of special phenomena on the machined surface in micro EDM. 展开更多
关键词 micro EDM discharge channel high frequency electromagnetic field magnetic pinch effect discharge crater
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Self-adaptive fuzzy controller with formulary rule for servo control of discharge gap in Micro EDM 被引量:2
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作者 TongHao LiYong 《High Technology Letters》 EI CAS 2012年第3期223-229,共7页
In micro electrical discharge machining (micro EDM), it is difficult for servo controlling the narrow discharge gap with the characters of non-linear and quick change. In this paper, aiming at solving the problems a... In micro electrical discharge machining (micro EDM), it is difficult for servo controlling the narrow discharge gap with the characters of non-linear and quick change. In this paper, aiming at solving the problems above, a self-adaptive fuzzy controller with formulary rule (SAFCFR) is presented based on the dual feedbacks composed by gap electric signal and discharge-ratio statistics. To ensure the properties of self-optimizing and fast stabilization, the formulary rule was designed with a tuning factor. In addition, the fast-convergence algorithms were introduced to adjust control target center and output scale factor. In this way, the normal discharge ratio can tend to the highest value during micro-EDM process. Experimental results show that the proposed algorithms are effective in improving the servo-control performance. According to the drilling-micro-EDM experiments, the machining efficiency is improved by 20% through applying SAFCFR. Moreover, SAFCFR is a prompt way to optimize parameters of discharge-gap servo control. 展开更多
关键词 MICRO-EDM self-adaptive fuzzy control discharge gap formulary rule fast con-vergence algorithm
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