激光微细加工技术及其在MEMS微制造中的应用

文章综述了当前MEMS各类微制造技术 ,阐述了各种激光微细加工技术的原理、特点 ,主要包括准分子激光微细加工技术、激光LIGA技术、激光微细立体光刻技术等 ,以及它们在MEMS微制造中的应用。

超微细加工及设备

TN305 96032038光刻物镜部分相干成像的模拟计算方法研究=Simulatedcalculation methods of partial coherentimaging of photolithographic objectives[学,中]/唐波(中科院光电技术研究所.四川,成都(610209)).-61页.-1995,4. 介绍了一种模拟计算部分相干光成像的实用化方法。根据Hopkins的部分相干理论,推导出数值计算模型。根据计算公式编制了部分相干成像模拟计算软件,可用于研究光刻成像中物镜的数值孔径、光源的波长、相干因子、离焦、波像差。

立体微细光刻技术

介绍了立体微细光刻技术研究的意义、发展趋势、工作原理和基本实现方法，旨在促进此项高新技术的应用发展．

基于快速成形的MEMS微制造技术

评述了当前主要的 MEMS微制造技术方法及特点 ,综述了基于快速成形的 MEMS微制造系统的基本原理和基本结构 ,目前所能达到的精度与应用典型实例 ,微制造技术的优越性与局限性。对最新发展的每一层面一次曝光的高速快速成形