激光衍射微细线径测量仪的研究

本文根据激先衍射理论，研究了用衍射方法测量微细线径的测量系统。在信号处理方面采用相干性极好的He－Ne激光器、高分辨率CCD图像传感器和8031单片机系统，使测量精度比较接近于理论精度。

多种方法测量微细线径

本文选用分光计、迈克尔逊干涉仪、CCD测径仪三种测量仪器对2.5mm、2mm、1.5mm、1mm四种细丝进行直径测量综合实验,从三种仪器的理论基础、操作方法、实验结果和误差分析四个方面进行分析和比较。结果表明三种仪器都能进行微细线径的测量,测得的结果都接近标准值,其中CCD测量微细线径最接近标准值。