真空高温热退火对单晶磷化铟纳米孔阵列的形貌、微结构影响

利用真空热退火的方法，研究了单晶InP方形纳米孔阵列退火后的形貌和晶相等特征。发现随着退火温度的不断升高，单晶InP中P的挥发性也越来越剧烈，到650℃后P完全挥发，样品变成h单质，而单晶InP方形纳米孔阵列的形貌也逐渐变得不均一，当退火温度高于550℃，整个纳米孔阵列被完全破坏。

微结构显微光学无损检测方法(特邀)

微纳尺度的微结构可调制光场,提高传感器的灵敏度,是新一代功能器件或传感器件中广泛使用的重要结构特征。包含微细加工在内的先进制造技术的快速发展,对多种型式微纳尺度微结构的无损测量技术提出了紧迫的需求。本文从多维视角论述了国内外行业发展中出现的微结构种类、型式,围绕具有高精度无损检测特质的光学显微技术,阐述了国内外仍在继续发展的微结构无损检测四种主流方法,分析了这些方法的技术特点、适用对象,给出了典型样品的检测结果,其中部分结果是首次发表。结果表明,暗场显微机器视觉法,是振幅型颗粒、凹坑、划痕等有害微结构的有效检测方法,可以实现大尺度样品的快速检测;共焦显微成像和低相干显微干涉法是“相位”型微结构的最佳检测方法,可以得到微结构的三维形貌;光谱反演-过焦扫描法与近红外显微干涉法,是应高深宽比微结构无损检测需求而发展起来的新方法,前者可以快速测得线宽和深度,后者可以测得物镜视场范围内高深宽比微结构的三维形貌,二者可以相互验证与补充。

早期固化派酶土体显微形貌与其无侧限抗压强度的关系

利用一种生化酶类土壤固化剂派酶,按适当比例掺入壤黏土,测得其各龄期试件无侧限抗压强度均比未掺的有所提高。为了进一步研究早期固化派酶土体显微结构形貌与其强度的关系,对7、14d龄期的掺与未派酶固化土体试样进行SEM电镜扫描。早期固化掺与未派酶土体中的7dSEM照片(40μm)很难直接观察定性分析,进而采用分形理论,计算出早期固化龄期(7、14d)未掺派酶试件显微结构形貌的盒维数均比掺派酶的大,龄期相同时盒维数大的试件无侧限抗压强度低。龄期从7d增至14d,掺与未掺派酶试件显微结构形貌的盒维数变小而无侧限抗压强度却有所提高。

凹折射微透镜阵列的离子束刻蚀制作

利用光刻热熔成形工艺及离子束刻蚀制作 12 8× 12 8元凹微透镜阵列。所制硅及石英凹微透镜的典型基本图形分别为凹球冠形、凹柱形和矩顶凹面形。分析了在光致抗蚀剂柱凹微透镜图形制作过程中的膜系匹配特性 ,与制作该种微透镜有关的光掩模版的主要结构参数 ,以及光致抗蚀剂掩模工艺参数的控制依据等。探讨了在凹微透镜器件制作基础上利用成膜工艺开展平面折射微透镜器件制作的问题。采用扫描电子显微镜 (SEM)和表面轮廓仪测试了所制石英凹微透镜阵列的表面微结构形貌。给出了所制石英凹微透镜阵列远场光学特性的测试结果。