微机电系统(MEMS)技术的应用:微结构气敏传感器

硅和硅基微机电系统技术是微机电系统技术的主流 ,本文主要介绍用这种技术制造的各种微结构气敏传感器。

传感器

Y2000-62014-2602 0006481FA Ⅱ-13传感器选择与配置(含4篇文章)=Sensor se-lection and placement[会,英]//Proceedings of 1999IEEE International Conference on Robotics and Automa-tion,Vol.4.—2602～2625(NiD)本部分收录四篇论文。