微腔型PCR芯片的多体系集总热容法分析

本文采用多体系集总热容法分析了微腔型PCR芯片的热循环过程,研究了芯片的温度变化规律,并提出了芯片功耗的预测方法。数值模拟表明,多体系集总热容法可以被用来估计微腔型PCR芯片的温度变化,并能够准确地预测芯片所需功耗。

微腔型传感器的电化学表征及其应用初探

利用微机械加工技术、各向异性腐蚀技术研制了具有三维结构的微腔型传感器 ,微芯片 3× 6mm2 具有三维腔体 腔深 3 0 0μm,铂工作电极 1 .2 1 .2 mm2 ,Ag/ Ag Cl参比 ,工作电极与 Ag/ Ag Cl参比集成在同一微芯片上 .作者对微腔型电极进行了电化学特性的表征 ,并测试了微芯片上 Ag/ Ag Cl参比电极的性能 ,考察了微腔型传感器在化学传感器、生物传感器方面的初步应用 ,对 H2 O2 。

微腔型真空三极管

随着半导体集成电路加工工艺的不断进步加速了对场致发射体的研制进程,而低压大电流场致发射阴极阵列的出现又推进了真空微电子器件的发展.微型真空管的工作原理与传统的真空管相同,都是利用电子受电场作用在真空中运动所产生的一系列现象来工作的.微型真空管采用场致发射体作电子源,电子从阴极到阳极的距离d比它与残余气体分子相撞的平均自由程λ_e小得多,即d<<λ_e可以认为电子在真空中行进,所以这类器件不需要工作在极高的真空中.

单个回音壁微腔中Fano共振现象的观测（英文）

实验研究了香肠状回音壁光学微腔,测量了单个微腔的光学传输谱线.实验结果表明,当从两端拉伸香肠状微腔的时候,观测到的光学模式的共振波长会随着拉伸量的增加而减小,而且不同模式的共振波长减小的速度存在差异.通过拉伸香肠状微腔的方法,实验观察到了单个香肠状微腔中的Fano共振现象.另外,实验上也观测到了与Fano共振现象相关的类电磁诱导透明现象。实验所涉及到的回音壁模式的品质因子高达108.

基于片上铌酸锂微腔的非线性新途径:环腔内自发准相位匹配

各向异性晶体中依赖于波矢传播方向的有效非线性系数为无需极化的准相位匹配非线性过程提供了一种有效途径.最近的研究表明,通过设计X切薄膜铌酸锂跑道环的几何结构以及相对光轴的取向,基频与倍频TE模式间的谐振和相位匹配可以同时得到满足,从而可对腔内无极化准相位匹配非线性过程进行精确调控.实验上实现了满足双谐振条件的37阶和111阶自发准相位匹配倍频过程,与理论预测吻合良好.

基于高Q值轴向渐变型空芯微腔的高灵敏流速传感器

创新性地提出了一种基于高Q值轴向渐变型空芯微腔的高灵敏流速传感器,实现了微压状态下微腔回音壁模式共振光场对流体的直接检测。首先,利用流体动力学和有限元算法理论分析了轴向渐变型空芯微腔的流速和光场特性。其次,通过熔融拉锥和气压控制法制备了高Q值(Q>107)轴向渐变型空芯微腔,利用五维高精度位移平台实现微腔与微纳光纤的高精度、低损耗耦合。实验测试并研究了不同尺寸、不同耦合位置时微腔回音壁模式共振光谱的流速传感特性,获得的最大流速灵敏度达0.27 pm/(μL/min),流速分辨率为1.43μL/min。该传感器具有较高的重复性和实时性,在高灵敏度流体检测、水质检测等领域具有潜在应用价值。

一种基于SOI的集成光波导耦合系统的设计与制备

根据锥形光纤与平面环型微腔耦合原理,使用L-Edit版图设计软件设计并优化了锥形光波导与微腔耦合系统。利用MEMS工艺对SOI圆晶片进行加工,从而实现了锥形光波导与跑道型以及环型光波导微腔的集成。其中,光波导以及微腔通过ICP刻蚀顶层硅而成,矩形槽通过RIE刻蚀衬底硅而成。光波导两侧的矩形凹槽可方便光纤接入以及对出射光的探测,从而提高了光波导微腔耦合系统的稳定性。