面向硅基光互连应用的无源光子集成器件研究进展

光互连是突破传统微电子IC性能瓶颈的重要技术手段,对推进"后摩尔时代"微电子技术的发展和高性能计算技术的实现具有关键性意义。本文在归纳总结不同层次光互连结构特点的基础上,对片上光互连(on-chip or intra-chip optical interconnects)所涉及的若干种无源光子集成器件的设计制备及性能特点进行了分析介绍,这些器件包括SOI亚波长光子线波导、SOI光子晶体波导、MMI分束/合束器、微环/微盘谐振腔滤波器、光子晶体微腔耦合滤波器、光子晶体反射镜等,是硅基片上光互连的基本构成单元。本文对这些关键性光子集成器件的国内最新研究进展进行了报道。

分视场成像光谱仪

设计了一种地面分辨率为5 m(飞行平台20 km),视场角为60°×60°的成像光谱仪系统。该系统采用了微透镜扫描器和微 F-P 腔可调协滤波器作为整个系统的核心器件。首先60°×60°视场分为四部分,然后微透镜扫描器将这四部分视场分次成像到 CCD 上,通过这种方法,不但获得了大视场,同时还保证了高分辨率。另一方面,微 F-P 腔可调协滤波器替代了传统的切换滤光片的方式,只要通过控制微 F-P 腔的腔长就能实现对特定波长的选择。