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基于CO_(2)激光加工的法布里-珀罗光学微腔阵列的制备
被引量:
3
1
作者
贾卓楠
张婷婷
+2 位作者
栗正华
花双全
王文杰
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2020年第23期200-204,共5页
主要研究了基于CO_(2)激光微加工实现法布里-珀罗(FP)光学微腔阵列的制备。首先,通过CO_(2)激光微加工和掩模板相结合的方法,在玻璃基底上制备了阵列型的凹面结构,并对结构的特性进行了分析。测量及模拟分析结果表明,凹面结构可近似为...
主要研究了基于CO_(2)激光微加工实现法布里-珀罗(FP)光学微腔阵列的制备。首先,通过CO_(2)激光微加工和掩模板相结合的方法,在玻璃基底上制备了阵列型的凹面结构,并对结构的特性进行了分析。测量及模拟分析结果表明,凹面结构可近似为高斯曲面,深度范围为0.042~0.64μm,半峰全宽范围为11.30~16.60μm;结构底部可近似为球面。随后,通过镀介质膜和微腔封装,制备了FP微腔阵列,采用平面镜-凹面镜的微腔组装形式,形成FP稳定腔。最后,测试了微腔阵列中光微流激光的产生。
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关键词
激光光学
法布里珀罗
微
腔
微腔阵列
CO_(2)激光烧蚀
光学掩模
光
微
流激光
原文传递
印刷线路板加工工艺制作微腔等离子体阵列
2
作者
陈岗
《信息技术与信息化》
2009年第3期70-71,共2页
采用印刷电路板工艺制作了微腔等离子体阵列,并测量了该阵列的放电特性。该器件采用标准的印刷线路板工艺制作而成,可以降低微腔等离子体器件制作的难度和提高阵列的一致性。实验结果表明,限流电阻为10kΩ情况时,直径100μm,间距150μm...
采用印刷电路板工艺制作了微腔等离子体阵列,并测量了该阵列的放电特性。该器件采用标准的印刷线路板工艺制作而成,可以降低微腔等离子体器件制作的难度和提高阵列的一致性。实验结果表明,限流电阻为10kΩ情况时,直径100μm,间距150μm的微腔在一个大气压的氖气中放电电流最大值可达30mA。随着驱动电压的增加,放电电流的最大值不断升高而放电延时不断降低。
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关键词
微
腔
等离子体
阵列
印刷线路板工艺
放电电流
放电延时
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职称材料
新型铝基共面微腔等离子体阵列在氖气中放电的光特性研究
3
作者
何兆
张小宁
+1 位作者
梁志虎
刘纯亮
《真空科学与技术学报》
CSCD
北大核心
2017年第4期418-423,共6页
在厚度为100μm的铝基底上,制作了一种由隙缝相连的六边形共面微腔阵列,研究了方波驱动下,该微腔阵列在氖气中的放电发光分布与气压的关系,光谱分布及放电的演变过程。结果表明:这种隙缝相连的六边形共面微腔阵列放电时,随气压的升高,...
在厚度为100μm的铝基底上,制作了一种由隙缝相连的六边形共面微腔阵列,研究了方波驱动下,该微腔阵列在氖气中的放电发光分布与气压的关系,光谱分布及放电的演变过程。结果表明:这种隙缝相连的六边形共面微腔阵列放电时,随气压的升高,发光光强分布从腔体中心位置逐步向腔体侧壁移动,其发光光谱为588 nm的可见光和312 nm的紫外光。增强电荷耦合器件拍摄的阵列放电瞬时状态表明,在一个方波驱动周期的两次放电中,共面微腔等离子体阵列放电演变呈现出等离子波动传播的现象,且这两次传播方向相反,传播速度均为10~15 km/s。
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关键词
共面
微
腔
等离子体
阵列
光强分布
放电演变
波动传播
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职称材料
微腔光电子器件研究与发展
被引量:
1
4
作者
宁永强
王立军
《光机电信息》
2002年第7期33-38,共6页
1引言 微腔激光器及其光子集成是光子学领域的前沿课题.它的突破可使光子学跨越固态光子学阶段,直接进入微光子时代的超大规模集成光路阶段.与大规模、超大规模集成电路一样,它不仅是国家信息产业发展的必由之路,而且是今后信息产业的...
1引言 微腔激光器及其光子集成是光子学领域的前沿课题.它的突破可使光子学跨越固态光子学阶段,直接进入微光子时代的超大规模集成光路阶段.与大规模、超大规模集成电路一样,它不仅是国家信息产业发展的必由之路,而且是今后信息产业的重要基础,因此需要不失时机对它进行研发.
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关键词
微
腔
光电子器件
面发射
微
腔
激光器
阵列
研究进展
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职称材料
题名
基于CO_(2)激光加工的法布里-珀罗光学微腔阵列的制备
被引量:
3
1
作者
贾卓楠
张婷婷
栗正华
花双全
王文杰
机构
太原理工大学新型传感器与智能控制教育部重点实验室
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2020年第23期200-204,共5页
基金
国家自然科学基金面上项目(61471254)
山西省自然科学基金(201601D011010)。
文摘
主要研究了基于CO_(2)激光微加工实现法布里-珀罗(FP)光学微腔阵列的制备。首先,通过CO_(2)激光微加工和掩模板相结合的方法,在玻璃基底上制备了阵列型的凹面结构,并对结构的特性进行了分析。测量及模拟分析结果表明,凹面结构可近似为高斯曲面,深度范围为0.042~0.64μm,半峰全宽范围为11.30~16.60μm;结构底部可近似为球面。随后,通过镀介质膜和微腔封装,制备了FP微腔阵列,采用平面镜-凹面镜的微腔组装形式,形成FP稳定腔。最后,测试了微腔阵列中光微流激光的产生。
关键词
激光光学
法布里珀罗
微
腔
微腔阵列
CO_(2)激光烧蚀
光学掩模
光
微
流激光
Keywords
laser optics
Fabry-Pérot microcavity
microcavity array
CO_(2) laser ablation
optical mask
optofluidic laser
分类号
TN242 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
印刷线路板加工工艺制作微腔等离子体阵列
2
作者
陈岗
机构
山东警察学院
出处
《信息技术与信息化》
2009年第3期70-71,共2页
文摘
采用印刷电路板工艺制作了微腔等离子体阵列,并测量了该阵列的放电特性。该器件采用标准的印刷线路板工艺制作而成,可以降低微腔等离子体器件制作的难度和提高阵列的一致性。实验结果表明,限流电阻为10kΩ情况时,直径100μm,间距150μm的微腔在一个大气压的氖气中放电电流最大值可达30mA。随着驱动电压的增加,放电电流的最大值不断升高而放电延时不断降低。
关键词
微
腔
等离子体
阵列
印刷线路板工艺
放电电流
放电延时
Keywords
Microcavity plasma arrays Printed circuit board Discharge current Discharge delay time
分类号
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
新型铝基共面微腔等离子体阵列在氖气中放电的光特性研究
3
作者
何兆
张小宁
梁志虎
刘纯亮
机构
西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
CSCD
北大核心
2017年第4期418-423,共6页
基金
国家自然科学基金项目(No.61372018)
文摘
在厚度为100μm的铝基底上,制作了一种由隙缝相连的六边形共面微腔阵列,研究了方波驱动下,该微腔阵列在氖气中的放电发光分布与气压的关系,光谱分布及放电的演变过程。结果表明:这种隙缝相连的六边形共面微腔阵列放电时,随气压的升高,发光光强分布从腔体中心位置逐步向腔体侧壁移动,其发光光谱为588 nm的可见光和312 nm的紫外光。增强电荷耦合器件拍摄的阵列放电瞬时状态表明,在一个方波驱动周期的两次放电中,共面微腔等离子体阵列放电演变呈现出等离子波动传播的现象,且这两次传播方向相反,传播速度均为10~15 km/s。
关键词
共面
微
腔
等离子体
阵列
光强分布
放电演变
波动传播
Keywords
Coplanar microcavity plasma array
Radiation distribution
Discharge evolution
Propagation
分类号
TN136 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
微腔光电子器件研究与发展
被引量:
1
4
作者
宁永强
王立军
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《光机电信息》
2002年第7期33-38,共6页
文摘
1引言 微腔激光器及其光子集成是光子学领域的前沿课题.它的突破可使光子学跨越固态光子学阶段,直接进入微光子时代的超大规模集成光路阶段.与大规模、超大规模集成电路一样,它不仅是国家信息产业发展的必由之路,而且是今后信息产业的重要基础,因此需要不失时机对它进行研发.
关键词
微
腔
光电子器件
面发射
微
腔
激光器
阵列
研究进展
分类号
TN206 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于CO_(2)激光加工的法布里-珀罗光学微腔阵列的制备
贾卓楠
张婷婷
栗正华
花双全
王文杰
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2020
3
原文传递
2
印刷线路板加工工艺制作微腔等离子体阵列
陈岗
《信息技术与信息化》
2009
0
下载PDF
职称材料
3
新型铝基共面微腔等离子体阵列在氖气中放电的光特性研究
何兆
张小宁
梁志虎
刘纯亮
《真空科学与技术学报》
CSCD
北大核心
2017
0
下载PDF
职称材料
4
微腔光电子器件研究与发展
宁永强
王立军
《光机电信息》
2002
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
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