基于CO_(2)激光加工的法布里-珀罗光学微腔阵列的制备

主要研究了基于CO_(2)激光微加工实现法布里-珀罗(FP)光学微腔阵列的制备。首先,通过CO_(2)激光微加工和掩模板相结合的方法,在玻璃基底上制备了阵列型的凹面结构,并对结构的特性进行了分析。测量及模拟分析结果表明,凹面结构可近似为高斯曲面,深度范围为0.042~0.64μm,半峰全宽范围为11.30~16.60μm;结构底部可近似为球面。随后,通过镀介质膜和微腔封装,制备了FP微腔阵列,采用平面镜-凹面镜的微腔组装形式,形成FP稳定腔。最后,测试了微腔阵列中光微流激光的产生。

印刷线路板加工工艺制作微腔等离子体阵列

采用印刷电路板工艺制作了微腔等离子体阵列,并测量了该阵列的放电特性。该器件采用标准的印刷线路板工艺制作而成,可以降低微腔等离子体器件制作的难度和提高阵列的一致性。实验结果表明,限流电阻为10kΩ情况时,直径100μm,间距150μm的微腔在一个大气压的氖气中放电电流最大值可达30mA。随着驱动电压的增加,放电电流的最大值不断升高而放电延时不断降低。

新型铝基共面微腔等离子体阵列在氖气中放电的光特性研究

在厚度为100μm的铝基底上,制作了一种由隙缝相连的六边形共面微腔阵列,研究了方波驱动下,该微腔阵列在氖气中的放电发光分布与气压的关系,光谱分布及放电的演变过程。结果表明:这种隙缝相连的六边形共面微腔阵列放电时,随气压的升高,发光光强分布从腔体中心位置逐步向腔体侧壁移动,其发光光谱为588 nm的可见光和312 nm的紫外光。增强电荷耦合器件拍摄的阵列放电瞬时状态表明,在一个方波驱动周期的两次放电中,共面微腔等离子体阵列放电演变呈现出等离子波动传播的现象,且这两次传播方向相反,传播速度均为10~15 km/s。

微腔光电子器件研究与发展

1引言 微腔激光器及其光子集成是光子学领域的前沿课题.它的突破可使光子学跨越固态光子学阶段,直接进入微光子时代的超大规模集成光路阶段.与大规模、超大规模集成电路一样,它不仅是国家信息产业发展的必由之路,而且是今后信息产业的重要基础,因此需要不失时机对它进行研发.