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薄膜制备中的微蚀孔问题
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作者 李博 徐晨 +1 位作者 宋义超 沈光地 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2007年第4期245-248,共4页
研究了自终止腐蚀停法制备浓硼重掺杂硅薄膜的腐蚀孔问题.许多MEMS结构需要进行2次或2次以上的深刻蚀,有些需要在多次深刻蚀后释放超薄的悬空薄膜结构,这时薄膜表面极易出现微小的腐蚀孔.分析可知,微蚀孔并不完全在第2次腐蚀的过程中形... 研究了自终止腐蚀停法制备浓硼重掺杂硅薄膜的腐蚀孔问题.许多MEMS结构需要进行2次或2次以上的深刻蚀,有些需要在多次深刻蚀后释放超薄的悬空薄膜结构,这时薄膜表面极易出现微小的腐蚀孔.分析可知,微蚀孔并不完全在第2次腐蚀的过程中形成,而是从第1次深腐蚀过程中对掩膜层的钻蚀开始的.对掩膜层的钻蚀,导致硅表面出现轻微腐蚀,形成细小的凹坑,并在浓硼扩散和第2次深腐蚀中被放大,最终在成膜过程中形成小孔.分析了微蚀孔的成因,提出了工艺上的解决方法,形成了一套重复性好的成膜工艺. 展开更多
关键词 浓硼重掺杂硅薄膜 深刻 微蚀孔
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活性电解液中外加电压对纯钛微弧氧化陶瓷层蚀孔孔径及结合力的影响
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作者 马安博 李杰 符致昭 《化学与粘合》 CAS 2024年第1期16-19,共4页
在活性电解液中采用微弧氧化技术制备TiO_(2)陶瓷层,研究外加电压对纯钛微弧氧化陶瓷层蚀孔孔径及结合力的影响规律,采用扫描电镜对陶瓷层表面蚀孔孔径进行表征,采用划痕法检测陶瓷层与基底的结合力。结果表明:陶瓷层表面蚀孔孔径在50μ... 在活性电解液中采用微弧氧化技术制备TiO_(2)陶瓷层,研究外加电压对纯钛微弧氧化陶瓷层蚀孔孔径及结合力的影响规律,采用扫描电镜对陶瓷层表面蚀孔孔径进行表征,采用划痕法检测陶瓷层与基底的结合力。结果表明:陶瓷层表面蚀孔孔径在50μm以上,且孔径随外加电压的增加而增大;外加电压对陶瓷层与基体结合力影响较小,但当电压达到450 V时膜层遭到破坏。XRD和EDS检测表明制备得到的陶瓷膜的主要成分是锐钛矿TiO_(2),还含有少量Ca和P元素。 展开更多
关键词 弧氧化 结合力
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改善煤岩储层渗流能力的氧化液处理实验研究 被引量:7
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作者 康毅力 涂莹谦 +2 位作者 游利军 李相臣 皇凡生 《天然气工业》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第9期61-69,共9页
煤岩储层物理增产难,利用强氧化剂的氧化作用改造煤岩储层可以提高煤层气采收率,但目前基于煤层气领域的氧化研究却相对较少,系统评价氧化作用对煤岩储层渗流能力影响的实验研究则更为鲜见。为此,选取新疆托克逊黑山矿区侏罗系西山窑组... 煤岩储层物理增产难,利用强氧化剂的氧化作用改造煤岩储层可以提高煤层气采收率,但目前基于煤层气领域的氧化研究却相对较少,系统评价氧化作用对煤岩储层渗流能力影响的实验研究则更为鲜见。为此,选取新疆托克逊黑山矿区侏罗系西山窑组煤样,分别开展了柱状煤样和粉状煤样与过氧化氢作用实验,测试了柱状煤样渗透率、粉状煤样溶蚀率和浸泡液性能参数等,并借助X射线衍射、扫描电镜、红外光谱及润湿角测量等手段,分析煤岩与过氧化氢的反应机制和改善煤岩渗流能力的机理,进而对比氧化作用与酸化作用的改造效果。研究结果表明:(1)煤岩氧化后渗透率明显提高,为初始渗透率的1.4~3.2倍;(2)氧化后煤岩产生大量微裂隙和溶蚀孔,可显著改善孔隙连通性,煤岩表面缔合态羟基和羧基增多,表面水湿性变弱;(3)有机质、黄铁矿等组分易被氧化消耗,同时产生的H+、小分子脂肪酸等又进一步溶蚀无机矿物组分;(4)氧化作用兼具酸化作用溶解无机矿物的优势,产生煤粉程度较弱、可控。结论认为,强氧化剂作用于煤岩储层具有成为一种新的煤岩储层增产改造技术的潜力。 展开更多
关键词 煤岩 氧化作用 渗透率 隙连通性 酸化作用 裂隙和溶 溶解无机矿物 煤岩储层增产改造
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Changes of Porosity and Roughness of Concrete Surfaces Due to Microbial Corrosion
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作者 Vlasta Ondrejka Harbulakova Alena Luptakova +1 位作者 Adriana Estokova Nadezda Stevulowa 《Journal of Chemistry and Chemical Engineering》 2011年第3期241-245,共5页
The issue of the building materials biocorrosion has a significant economic dimension because it results in the costly repair. The start and the course of corrosion are conditioned by many factors which undoubtedly in... The issue of the building materials biocorrosion has a significant economic dimension because it results in the costly repair. The start and the course of corrosion are conditioned by many factors which undoubtedly include biological effects like the influence of vegetation and microorganisms causing the so called microbial corrosion. Microorganisms have also a considerable share in the decay and degradation of different building materials. The activity of sulphuratum is the keystone of many processes in nature and in industry. The sulphuric bacteria oxidize hydrogen sulphide produced by sulphate-reducing bacteria into sulphuric acid resulting in the acid or sulphate corrosion of cement stone. The paper is aimed on evaluation of porosity and roughness of concrete samples surface as elementary characteristics of microbial corrosion. After 4 months exposure to the real conditions in sewers deposition the changes were observed by confocal laser microscopy and consequently analyzed and interpreted. 展开更多
关键词 POROSITY ROUGHNESS CONCRETE microbial corrosion.
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