期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
5
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
基于MEMS微触觉测头和纳米测量机的扫描测量平台
被引量:
9
1
作者
李源
孙薇斌
+3 位作者
邵力
傅星
栗大超
胡小唐
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期580-585,共6页
将自主开发的基于MEMS工艺的微触觉测头与纳米坐标测量平台相结合,构建高性能的扫描测量平台,提高了微结构和器件扫描测量的精度和分辨力。基于微触觉测头的测量原理,研究了微触觉测头应用于纳米坐标测量平台的反馈控制方法以及控制转...
将自主开发的基于MEMS工艺的微触觉测头与纳米坐标测量平台相结合,构建高性能的扫描测量平台,提高了微结构和器件扫描测量的精度和分辨力。基于微触觉测头的测量原理,研究了微触觉测头应用于纳米坐标测量平台的反馈控制方法以及控制转换参数的标定方法,讨论了扫描平台不同扫描方式对测量的影响。实验进行了相对平整表面和非平整表面形貌的扫描测量,结果表明,相对平整和非平整表面进程回程重复扫描差值的标准偏差分别为15.519 nm和23.088 nm,系统具有较高的测量重复性。
展开更多
关键词
微
机电系统
微触觉测头
纳米
测
量机
扫描
测
量平台
下载PDF
职称材料
MEMS电容式三维微触觉测头设计及校准
被引量:
7
2
作者
吴俊杰
李源
+2 位作者
李东升
卢歆
何明轩
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第12期3087-3094,共8页
由于微纳米几何量计量很难以三维方式高精度地测量较大尺寸的器件,本文基于非硅MEMS工艺,开发了一种可用于微纳米尺度三维尺寸测量的电容式微触觉测头。利用电容频率测量法实现了微弱电容信号的采集。采用宏微结合驱动方式,设计了运动...
由于微纳米几何量计量很难以三维方式高精度地测量较大尺寸的器件,本文基于非硅MEMS工艺,开发了一种可用于微纳米尺度三维尺寸测量的电容式微触觉测头。利用电容频率测量法实现了微弱电容信号的采集。采用宏微结合驱动方式,设计了运动范围为25mm×25mm×10mm,单轴12μm范围内定位精度达1nm的三维微位移平台。最后,对测头的测量范围、线性、迟滞及分辨力进行了测试。结果表明,测头的轴向测量范围为4.5μm,横向测量范围大于5μm,轴向分辨力优于10nm,横向分辨力优于25nm,线性较好。开发的测头结构简单、分辨力高、体积小、成本低,可集成到纳米测量定位平台(NMM),完成具有大范围、亚微米或纳米级精度要求的测量任务。
展开更多
关键词
微触觉测头
微
电容传感器
微
机电系统
校准装置
纳米
测
量机
下载PDF
职称材料
MEMS三维微触觉测头的低频振动测试系统
被引量:
4
3
作者
李源
傅星
+4 位作者
谢初南
沈瑶琼
安兆亮
栗大超
胡小唐
《天津大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期273-277,共5页
针对一种MEMS三维微触觉测头,构建了基于Suss Microtec三维微定位器和PI压电陶瓷的动态测试装置,对测头的动态性能进行了表征.分别测试了测头在轴向和横向负载下对不同幅度低频振动信号的响应情况,研究了测量过程的短时重复性能.结果表...
针对一种MEMS三维微触觉测头,构建了基于Suss Microtec三维微定位器和PI压电陶瓷的动态测试装置,对测头的动态性能进行了表征.分别测试了测头在轴向和横向负载下对不同幅度低频振动信号的响应情况,研究了测量过程的短时重复性能.结果表明,压电陶瓷位移-电压曲线的非线性误差在轴向测量模式下小于0.102%,横向测量模式下小于0.507%.
展开更多
关键词
微触觉测头
振动
测
试
三维
测
量
微
机电系统
下载PDF
职称材料
基于MEMS微触觉测头和纳米测量机的特征尺寸测量
被引量:
3
4
作者
李源
邹子英
+3 位作者
傅云霞
傅星
栗大超
胡小唐
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第12期2097-2100,共4页
针对微小结构几何量测量的需求,通过集成MEMS微触觉测头和纳米测量机构建了高精度的测量系统。在验证测头性能的基础上,完成了一系列判断测头测量分辨力和精度的实验,在轴向、同向横向、异向横向三个方向测量的标准偏差分别为41.7552nm,...
针对微小结构几何量测量的需求,通过集成MEMS微触觉测头和纳米测量机构建了高精度的测量系统。在验证测头性能的基础上,完成了一系列判断测头测量分辨力和精度的实验,在轴向、同向横向、异向横向三个方向测量的标准偏差分别为41.7552nm,6.05μm,6.16μm,同时,在扫描实验中进程回程扫描差值的标准偏差为23.088nm。
展开更多
关键词
微
机电系统
微触觉测头
尺寸
测
量
纳米
测
量机
下载PDF
职称材料
基于电容式传感测头的电容检测系统的设计
被引量:
5
5
作者
卢歆
何明轩
+2 位作者
李源
傅云霞
汪红
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2011年第12期95-97,101,共4页
针对纳米尺寸测量领域的不同测量要求,尝试开发一种基于电容传感器的微触觉测头及其电容检测系统。阐述了测头的结构原理和电容传感器的工作原理,研制了基于电容传感器的微触觉测头。测头的测量原理表明:微小电容检测电路是整个电容检...
针对纳米尺寸测量领域的不同测量要求,尝试开发一种基于电容传感器的微触觉测头及其电容检测系统。阐述了测头的结构原理和电容传感器的工作原理,研制了基于电容传感器的微触觉测头。测头的测量原理表明:微小电容检测电路是整个电容检测系统的关键部分。该微小电容检测电路选用电容/数字转换器(CDC)AD7747芯片,分别编写了单片机与该芯片的I2C通信程序和单片机与上位机间的串行通信程序,实现了微小电容的采集和处理,简单进行了电容式传感测头的轴向性能的测试实验。实验表明:电容式微触觉测头的分辨率为0.02μm,重复性较好,证实了此电容式微触觉测头的可行性。
展开更多
关键词
电容传感器
微触觉测头
微
小电容检
测
AD7747
串行通信
下载PDF
职称材料
题名
基于MEMS微触觉测头和纳米测量机的扫描测量平台
被引量:
9
1
作者
李源
孙薇斌
邵力
傅星
栗大超
胡小唐
机构
上海市计量测试技术研究院
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期580-585,共6页
基金
上海市博士后基金重点(07R214208)资助项目
文摘
将自主开发的基于MEMS工艺的微触觉测头与纳米坐标测量平台相结合,构建高性能的扫描测量平台,提高了微结构和器件扫描测量的精度和分辨力。基于微触觉测头的测量原理,研究了微触觉测头应用于纳米坐标测量平台的反馈控制方法以及控制转换参数的标定方法,讨论了扫描平台不同扫描方式对测量的影响。实验进行了相对平整表面和非平整表面形貌的扫描测量,结果表明,相对平整和非平整表面进程回程重复扫描差值的标准偏差分别为15.519 nm和23.088 nm,系统具有较高的测量重复性。
关键词
微
机电系统
微触觉测头
纳米
测
量机
扫描
测
量平台
Keywords
MEMS
micro tactile probe
nanomeasuring machine
scanning test platform
分类号
TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]
下载PDF
职称材料
题名
MEMS电容式三维微触觉测头设计及校准
被引量:
7
2
作者
吴俊杰
李源
李东升
卢歆
何明轩
机构
中国计量学院计量测试工程学院
上海市计量测试技术研究院微米纳米计量实验室
上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第12期3087-3094,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51075378)
上海市科委纳米专项基金资助项目(No.11nm0560800)
文摘
由于微纳米几何量计量很难以三维方式高精度地测量较大尺寸的器件,本文基于非硅MEMS工艺,开发了一种可用于微纳米尺度三维尺寸测量的电容式微触觉测头。利用电容频率测量法实现了微弱电容信号的采集。采用宏微结合驱动方式,设计了运动范围为25mm×25mm×10mm,单轴12μm范围内定位精度达1nm的三维微位移平台。最后,对测头的测量范围、线性、迟滞及分辨力进行了测试。结果表明,测头的轴向测量范围为4.5μm,横向测量范围大于5μm,轴向分辨力优于10nm,横向分辨力优于25nm,线性较好。开发的测头结构简单、分辨力高、体积小、成本低,可集成到纳米测量定位平台(NMM),完成具有大范围、亚微米或纳米级精度要求的测量任务。
关键词
微触觉测头
微
电容传感器
微
机电系统
校准装置
纳米
测
量机
Keywords
micro tactile probe
micro capacitance sensor
Micro-electronic-mechanic system (MEMS)
calibration device
nano measuring machine
分类号
TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]
TP212.9 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
MEMS三维微触觉测头的低频振动测试系统
被引量:
4
3
作者
李源
傅星
谢初南
沈瑶琼
安兆亮
栗大超
胡小唐
机构
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
上海市计量测试技术研究院
出处
《天津大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期273-277,共5页
基金
上海市博士后基金重点资助项目(07R214208)
文摘
针对一种MEMS三维微触觉测头,构建了基于Suss Microtec三维微定位器和PI压电陶瓷的动态测试装置,对测头的动态性能进行了表征.分别测试了测头在轴向和横向负载下对不同幅度低频振动信号的响应情况,研究了测量过程的短时重复性能.结果表明,压电陶瓷位移-电压曲线的非线性误差在轴向测量模式下小于0.102%,横向测量模式下小于0.507%.
关键词
微触觉测头
振动
测
试
三维
测
量
微
机电系统
Keywords
micro tactile probe
vibration measurement
three-dimensional measurement
MEMS
分类号
TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]
下载PDF
职称材料
题名
基于MEMS微触觉测头和纳米测量机的特征尺寸测量
被引量:
3
4
作者
李源
邹子英
傅云霞
傅星
栗大超
胡小唐
机构
上海市计量测试技术研究院
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第12期2097-2100,共4页
基金
国家质检总局科技计划资助(D00RJ0704)“纳米测量机在半导体领域的应用”
文摘
针对微小结构几何量测量的需求,通过集成MEMS微触觉测头和纳米测量机构建了高精度的测量系统。在验证测头性能的基础上,完成了一系列判断测头测量分辨力和精度的实验,在轴向、同向横向、异向横向三个方向测量的标准偏差分别为41.7552nm,6.05μm,6.16μm,同时,在扫描实验中进程回程扫描差值的标准偏差为23.088nm。
关键词
微
机电系统
微触觉测头
尺寸
测
量
纳米
测
量机
Keywords
MEMS
micro tactile probe
dimension measurement
nanomeasuring machine
分类号
TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]
下载PDF
职称材料
题名
基于电容式传感测头的电容检测系统的设计
被引量:
5
5
作者
卢歆
何明轩
李源
傅云霞
汪红
机构
上海市计量测试技术研究院
中国计量学院计量测试工程学院
上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术重点实验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2011年第12期95-97,101,共4页
基金
国家质量监督检验检疫总局质检公益性行业科研专项基金资助项目(201110051)
文摘
针对纳米尺寸测量领域的不同测量要求,尝试开发一种基于电容传感器的微触觉测头及其电容检测系统。阐述了测头的结构原理和电容传感器的工作原理,研制了基于电容传感器的微触觉测头。测头的测量原理表明:微小电容检测电路是整个电容检测系统的关键部分。该微小电容检测电路选用电容/数字转换器(CDC)AD7747芯片,分别编写了单片机与该芯片的I2C通信程序和单片机与上位机间的串行通信程序,实现了微小电容的采集和处理,简单进行了电容式传感测头的轴向性能的测试实验。实验表明:电容式微触觉测头的分辨率为0.02μm,重复性较好,证实了此电容式微触觉测头的可行性。
关键词
电容传感器
微触觉测头
微
小电容检
测
AD7747
串行通信
Keywords
capacitive sensor
micro tactile probe
micro capacitance detecting
AD7747
serial communication
分类号
TP206 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于MEMS微触觉测头和纳米测量机的扫描测量平台
李源
孙薇斌
邵力
傅星
栗大超
胡小唐
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
9
下载PDF
职称材料
2
MEMS电容式三维微触觉测头设计及校准
吴俊杰
李源
李东升
卢歆
何明轩
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
7
下载PDF
职称材料
3
MEMS三维微触觉测头的低频振动测试系统
李源
傅星
谢初南
沈瑶琼
安兆亮
栗大超
胡小唐
《天津大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
4
下载PDF
职称材料
4
基于MEMS微触觉测头和纳米测量机的特征尺寸测量
李源
邹子英
傅云霞
傅星
栗大超
胡小唐
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008
3
下载PDF
职称材料
5
基于电容式传感测头的电容检测系统的设计
卢歆
何明轩
李源
傅云霞
汪红
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2011
5
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部