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GY5型高精密五维微调样品架
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作者 李求恕 《真空》 CAS 北大核心 1989年第6期38-42,7,共6页
GY5型高精密五维微调样品架系一精密超高真空部件,共五个自由度.其运动位 移、转角精度、样品加热及液氮冷却温度均已达到设计指标,使用方便、灵活、可靠。 自1984年研制成功以来,已做为单独产品销售于国内各大学及科研单位... GY5型高精密五维微调样品架系一精密超高真空部件,共五个自由度.其运动位 移、转角精度、样品加热及液氮冷却温度均已达到设计指标,使用方便、灵活、可靠。 自1984年研制成功以来,已做为单独产品销售于国内各大学及科研单位、深受用户好 评.经中科院沈阳分院级鉴定,认为其外观质量、加工精度及主要技术指标均已达到国 际同类产品水平,可替代进口产品,满足科研工作需要。 展开更多
关键词 微调样品架 超高真空 座标测量仪
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