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GY5型高精密五维微调样品架
1
作者
李求恕
《真空》
CAS
北大核心
1989年第6期38-42,7,共6页
GY5型高精密五维微调样品架系一精密超高真空部件,共五个自由度.其运动位 移、转角精度、样品加热及液氮冷却温度均已达到设计指标,使用方便、灵活、可靠。 自1984年研制成功以来,已做为单独产品销售于国内各大学及科研单位...
GY5型高精密五维微调样品架系一精密超高真空部件,共五个自由度.其运动位 移、转角精度、样品加热及液氮冷却温度均已达到设计指标,使用方便、灵活、可靠。 自1984年研制成功以来,已做为单独产品销售于国内各大学及科研单位、深受用户好 评.经中科院沈阳分院级鉴定,认为其外观质量、加工精度及主要技术指标均已达到国 际同类产品水平,可替代进口产品,满足科研工作需要。
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关键词
微调样品架
超高真空
座标测量仪
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职称材料
题名
GY5型高精密五维微调样品架
1
作者
李求恕
机构
中国科学院沈阳科学仪器厂
出处
《真空》
CAS
北大核心
1989年第6期38-42,7,共6页
文摘
GY5型高精密五维微调样品架系一精密超高真空部件,共五个自由度.其运动位 移、转角精度、样品加热及液氮冷却温度均已达到设计指标,使用方便、灵活、可靠。 自1984年研制成功以来,已做为单独产品销售于国内各大学及科研单位、深受用户好 评.经中科院沈阳分院级鉴定,认为其外观质量、加工精度及主要技术指标均已达到国 际同类产品水平,可替代进口产品,满足科研工作需要。
关键词
微调样品架
超高真空
座标测量仪
分类号
TB77 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
GY5型高精密五维微调样品架
李求恕
《真空》
CAS
北大核心
1989
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